판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S-Z #293636590

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S-Z는 다양한 반도체 및 광학 공정에 사용되는 확산 로와 관련 액세서리입니다. 섭씨 약 200 도 (섭씨 1200 도) 의 저온에서 반도체 웨이퍼 및 기타 반도체 장치에 열 처리를 적용 할 수 있습니다. TEL ALPHA 8SZ의 구조에는 루프 로딩 장비, 분할 튜브 용광로, 온도 컨트롤러 및 배기 시스템이 포함됩니다. 또한 산화물 확산을 성공시킬 수있는 낮은 산소 환경도 포함됩니다. TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S-Z 내의 루프 로딩 장치는 자동화된 웨이퍼 로드와 언로드를 효율적으로 지원합니다. 이 기계에는 특수 공기 처리 기술 (air-handling technology) 이 장착되어 있어 용광로 안팎으로 이동하는 동안 웨이퍼를 시원하게 유지할 수 있습니다. 분할 튜브 퍼니스는 ISO 인증 확산 퍼니스로, 웨이퍼의 상단 및 하단 면을 모두 강화 할 수 있습니다. 온도 제어기 (temperature controller) 는 확산 과정의 원하는 온도를 조절하고 유지하는 데 사용되는 도구입니다. "토오쿄오 '" 알파' 8 S Z 는 열 처리 에 사용 되는 것 외 에도 다른 활동 에 도움 이 되는 기능 을 가지고 있다. 예를 들어, 가동 중 연기 및 기타 부산물을 줄이기 위해 특수 배기 에셋이 있습니다. 또한 ALPHA 8 S Z에는 in-situ thermogravimetric analysis (TGA) 기능이 장착되어 있어 체중 감량을 실시간으로 측정 할 수 있습니다. 또한, TOKYO ELECTRON ALPHA 8SZ에는 일정하고 안정적인 온도, 산소 및 오존 농도를 얻기 위해 자동 대기 제어 모델이 포함되어 있습니다. 이렇게 하면 다른 확산 프로세스에 대해 원하는 프로세스 조건을 확인할 수 있습니다. 이 확산 로 (diffusion furnace) 는 4 개 의 동력원 으로 구동 되며, 설치 공간 이 작아서, 여러 가지 응용 프로그램 에 적합 하다. 전반적으로, 알파 8S-Z (Alpha 8S-Z) 는 안정적이고 효율적인 확산 로로, 반도체 프로세스를 빠르고, 효율적이며, 효과적으로 만들기 위해 필요한 모든 액세서리와 함께 제공됩니다. 이 확산은 상업 및 산업 응용 모두에 이상적입니다.