판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S-Z #293636549

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S-Z는 반도체 연구 및 기술의 프로세스를 개선하기 위해 특별히 설계된 확산 용광로 및 액세서리입니다. 이 확산 용광로는 총 열 예산이 최대 200kw, 최대 장비 온도가 1300 '인 고사양, 고성능 확산 용광로입니다. 뛰어난 프로세스 균일성, 온도 정확성 및 제어가 특징이며 실용성을 강조합니다. TEL ALPHA 8SZ는 온도 균일성 및 로딩을 향상시키기 위해 수평 서셉터와 결합 된 이중 벽 퍼니스를 특징으로합니다. 또한 다양한 프로세스 제어 시스템 (process control system) 과 균일하게 유지되고 호환되는 최대 4 개의 동시 프로세스가 가능한 광범위한 공동 처리 기능을 제공합니다. 이 확산 용광로의 열 용품은 효율적인 포스트 매트릭스 애싱 시스템 (슬라이드 가능 용광로 옵션, 사전 살균 프로토콜 및 단일 도어 옵션) 과 결합됩니다. 이 확산 로의 강력한 정확성 및 냉장 기능은 다단계 가변 드라이브 엔진 (variable drive engine) 에 의해 제공됩니다. 이 혁신은 정확성을 높이고, 프로세스 균일성을 높이고, 안정성과 효율적인 냉각 및 난방 속도를 보장합니다. 또한, 히터 요소는 몰리브덴 (molybdenum) disilicide로 늘어선 2 밴드 간극으로, 더 높은 신뢰성과 더 빠른 램핑을 제공합니다. 도쿄 전자 알파 8 S-Z (TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S-Z) 는 또한 더 나은 기계 제어를 위해 내장 매핑 장치로 준비되었으며, 치유기 및 부품 보호를 개선하기위한 산화 보호 도구를 갖추고 있습니다. 이 확산 로의 온도 안정성은 진공 밀봉 자산 (vacuum-sealing asset) 과 공기 오염 물질이 내부 챔버에 들어가는 것을 막는 공기 청소 기능에 의해 개선됩니다. TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8SZ의 강력한 제어 시스템은 사용자가 정확한 정밀도로 프로세스 데이터를 모니터링하고 기록할 수 있도록 도와줍니다. 직관적인 그래픽 디스플레이와 대형 디스크 (Large Disc) 를 통해 간편한 검사, 집중적, 균일 한 프로세스, 에너지 비용 절감 효과를 제공합니다. 또한, 설치 공간과 에너지 비용을 모두 절감하는 최소한의 운영 설정 (Operating Setup) 을 위해 설계되었습니다. 전반적으로, ALPHA 8SZ는 다재다능한 확산 로로, 반도체 연구 및 기술에 적합한 높은 정밀도와 다양한 기능과 편의 시설을 제공합니다. 이 확산 로와 관련 액세서리는 능률적인 프로세스, 향상된 효율성, 고급 신뢰성을 제공합니다.