판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S-Z / 808S #9361886

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S-Z/808S는 열 처리 응용 프로그램을 위해 설계된 확산 로입니다. 대용량 공정 용량, 뛰어난 균일성, 뛰어난 반복성, 높은 처리량을 제공하는 고성능, 중대형 용광로 장비입니다. 이 시스템은 할로겐 램프 (halogen lamps) 를 난방 요소로 사용하므로 외부 드라이브 (pre-drive) 장치가 필요하지 않습니다. 이 장치는 고온, 고품질 프로세스에 대한 혁신적인 솔루션을 제공하며 저온 에피 택시, 인터레벨 유전체 증착 (ILD), 얕은 트렌치 격리 (STI) 및 금속 확산 등 다양한 도전적인 프로세스에 적합합니다.. TEL Alpha 8S-Z/808S에는 최대 1000 ° C의 고온 단계를 프로그래밍하는 기능과 같은 다양한 옵션이 제공됩니다. 또한 최대 4 개의 쿼츠 웨이퍼를 수용 할 수 있습니다. 기계는 개선 된 에어 터빈 펌프로 최대 공정 압력 5 torr을 제공합니다. 고유한 필터링 설계를 사용하여 프로세스 효율성을 극대화하고 배기를 최소화합니다. 또한 "차가운 벽" 기능을 사용하여 작동 중 균일 한 열 가열을 허용합니다. TOKYO ELECTRON Alpha 8S-Z/808S는 직관적인 터치 스크린 제어 인터페이스, 고정밀 위치 구동 도구, 기타 다양한 편리한 기능 (예: 자동 로드 프로세스 및 자동 언로드 기능) 을 갖추고 있습니다. 에셋에는 평면 세라믹 히터, 쿼츠 크리스탈 모니터 (옵션), 기타 다양한 옵션 장치 (옵션) 등 여러 액세서리가 포함되어 있어 설치 및 사용이 간편합니다. 또한, 이 모델은 유지 보수/서비스 (원격 유지 보수 기능, 디바이스 교체 및 조정) 를 비롯한 여러 가지 옵션 (프로세스 처리 시간 단축) 을 제공합니다. 전반적으로 Alpha 8S-Z/808S는 고급적이고 혁신적인 확산 로와 액세서리 장비입니다. 저온과 고온의 처리 어플리케이션을 모두 위한 탁월한 프로세스 성능, 높은 처리량, 다양한 옵션을 제공합니다. 이 솔루션은 까다로운 열 처리 (thermal processing) 요구 사항을 충족하는 혁신적인 솔루션을 제공하며, 다양한 까다로운 열 프로세스에 적합합니다.