판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S-Z / 808S #293591594

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S-Z/808S는 다양한 반도체 응용 프로그램을 처리하도록 설계된 최첨단 확산 로이자 액세서리입니다. 다양한 요소와 웨이퍼 크기 (직경 200mm) 에 적합한 자동화된 고정밀 (high-precision) 솔루션을 제공하도록 설계되었습니다. TEL Alpha 8S-Z/808S는 에피 택시 증착, 확산, 승화 및 기타 프로세스 애플리케이션에 사용될 수있는 완전 자동화 된 퍼니스입니다. 코어에서 TOKYO ELECTRON Alpha 8S-Z/808S는 열 성능을 극대화하는 임베디드 알루미나 라이닝이있는 단일 챔버, 이중 쉘 쿼츠 반응 챔버를 특징으로합니다. 이 용광로에는 에너지 효율이 높고 소음이 낮은 공기 냉각 팬 및 인라인 히터 (inline heater) 가 장착되어 있어 정확한 온도 조절이 가능합니다. 또한 고효율 오존 발생기, 실시간 온도 측정 장비, 전용 소프트웨어 제어 (Software Control) 등이 장착되어 있어 온도에 민감한 프로세스에 적합합니다. 알파 8S-Z/808S (Alpha 8S-Z/808S) 는 또한 최대 48 개의 레시피를 저장할 수있는 완전히 프로그래밍 가능한 레시피 시스템을 갖추고 있으며, 이를 통해 사용자는 이전 용도에 쉽게 액세스하고 복제할 수 있습니다. 또한, 용광로에는 최적의 성능을 위해 온도 및 시간 주기를 정확하게 조정할 수있는 고급 가열 제어 장치 (Advanced heating control unit) 가 포함되어 있습니다. 이 기능은 사용자가 프로세스 요구 사항에 따라 출하 시 (factory) 설정을 조정할 수 있도록 하는 사용자 정의 구성 설정에 의해 더욱 향상될 수 있습니다. 또한 TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S-Z/808S는 유지 보수가 불가능하고 작동이 용이하도록 설계되었습니다. 챔버 (chamber) 는 잔기 (residue) 의 축적을 줄이고 크래들 (cradle) 없이 적재하는 탈착식 흑연 보트를 특징으로합니다. 또한 TEL Alpha 8S-Z/808S의 표준 안전 기능에는 압력 완화 밸브 (pressure-relief valve), 셔터 및 기타 기능이 포함되어 있어 사고 위험을 최소화하고 가능한 한 안전하게 작동합니다. 전반적으로 TOKYO ELECTRON Alpha 8S-Z/808S는 신뢰할 수 있고 강력한 확산 로이며 다양한 프로세스 애플리케이션에 적합한 액세서리입니다. 고효율 고효율 오존 생성기 (HPC), 고급 난방제어기 (HPC), 사용자 정의 가능한 구성 설정으로 고정밀 프로세스에 적합합니다. 저소음 공기 냉각 팬 및 인라인 히터는 에너지 효율적인 성능을, 고무결성 챔버 라이닝은 열 성능을 최대화합니다. 사용이 편리하고 전용 소프트웨어 제어 기능을 갖춘 Alpha 8S-Z/808S 는 반도체 제작에 매우 적합한 제품입니다.