판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S / A-808SD #86160

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S/A-808SD는 견고하고 재현 가능한 확산 처리를 제공하기 위해 설계된 확산 용광로 및 액세서리입니다. 확산 용광로 (diffusion furnace) 는 원하는 장치 특성을 얻기 위해 기판을 빠르고 재현적으로 효율적으로 처리하도록 설계되었습니다. TEL Alpha 8S/A-808SD에는 직경이 최대 200mm 인 기판을 수용하도록 설계된 큰 직경, 이중 영역 난방 챔버가 장착되어 있습니다. 이중 구역 난방 챔버 (double zone heating chamber) 는 균일 한 온도 분포를 보장하여 일관되고 반복 가능한 확산 처리를 가능하게합니다. 확산 용광로는 가볍고 내구성이 뛰어난 컴포지트로 구성되어 있으며 터치 패널 (touch panel) 과 조이스틱 컨트롤 (joystick control) 을 갖춘 직관적인 사용자 인터페이스가 특징입니다. 이 시스템은 열 및 가스 분배를 최적화하여 단일/다중 계층 박막 및 SOI 구조를 확장하도록 설계되었습니다. TOKYO ELECTRON ALPHA 8S/A-808SD는 프로세스 내 쿼츠 샘플 홀더, 공정 가스 분사 포트, 콜드 월 로딩 스테이션, 가스 견갑골 및 쿼츠 탑 로더를 포함하여 확산 처리를 확장하도록 설계된 액세서리 제품군이 제공됩니다. 알파 8S/A-808SD 가열 중 전력 소비량은 다른 확산 로에 비해 낮아 가동 (run) 과 유지 (maintening) 가 경제적입니다. TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S/A-808SD는 ISO 9000 품질 보증을 통해 안정적이고 반복 가능한 결과를 보장합니다. 확산 용광로는 광범위한 TEL 전문가 팀이 지원하며, 종합적인 기술 및 수리 서비스를 제공합니다. TEL Alpha 8S/A-808SD는 고품질의 고성능 어플리케이션을 생산하기 위한 최적의 선택입니다.