판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 858SC #9034384

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 858SC는 중량 환경 사용을 위해 설계된 확산 로와 액세서리 장비입니다. TEL Alpha 858SC는 뛰어난 온도 및 균일성을 특징으로하여 박막 증착, 포토 마스크 및 기타 표면 응용을위한 다양한 재료를 처리 할 수 있습니다. 특수 퍼지 (purge) 시스템이 장착되어 있어 운영 중단 없이 더 깨끗한 결과를 얻을 수 있습니다. 또한, 고정밀도, 정확성으로 인해 다양한 재료를 처리 할 때 미세하고 안정적인 레이어 두께를 달성 할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON Alpha 858SC는 솔리드 스테이트 센서를 사용하여 최대 1200 ° C의 온도를 모니터링하여 균일성과 재생성을 보장합니다. 저전류 플라즈마 소스와 하단 인버트 히터 (bottom-invert heater) 를 사용하여이 장치는 매우 균일 한 온도 프로파일을 제공하도록 설계되었습니다. 용광로의 바닥 반전 (bottom-invert) 디자인은 용광로 벽에서 플라즈마 흐름을 전환하여 온도의 균일성을 보장합니다. 쉽게 작동할 수 있도록 Alpha 858SC에는 터치스크린 모니터와 컨트롤러 (운영자 친화적 소프트웨어 포함) 가 장착되어 있습니다. 여기에는 시간 온도 곡선, 자동 제거, 진공 및 가스 제어, 로드 잠금 관리 및 프로세스 로깅 등의 다양한 기능이 포함됩니다. 퍼니스는 다양한 진공 시스템 (CAB, PEAK 및 Pfeiffer), 진공 게이지, 질량 분석기, 헬륨 누출 검출기, 입자 검출기 및 기타 진단 시스템에 쉽게 연결할 수 있습니다. 통합 안전 머신이 통합되어 작동 중 보안이 극대화됩니다. 연장 서비스, 보정 및 검증 서비스는 항상 직원 안전을 보장합니다. TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 858SC 확산 광로 시스템은 장기 및 일관성 성능을 위해 설계되었으며, 다양한 산업 분야에서 탁월한 온도 및 균일성을 제공합니다. 정밀하게 설계되고 단단한 구조를 통해, 다른 확산 로보다 고온 균일성, 균일 한 층 두께, 긴 수명 시간을 달성 할 수 있습니다.