판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 85-Z #9361889

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 85-Z는 집적 회로 및 기타 전자 부품 생산을 위해 설계된 확산 로입니다. 이 확산 퍼니스는 펄스 라이트 방출 (pulsed light emission) 과 반응성 이온 에칭 (reactive ion etching) 을 포함한 3 가지 기술의 조합을 사용하여 높은 처리량과 정확한 프로세스 제어를 가능하게 하는 독특한 설계를 특징으로합니다. 또한 TEL ALPHA 85Z는 탁월한 환경 보호 및 효율적인 운영을 제공합니다. TOKYO ELECTRON ALPHA 85 Z는 각 영역마다 통합 온도 제어를 제공하는 풀 사이즈, 4 구역 확산 로입니다. 빛의 방출 및 에칭 프로세스를 정확하게 튜닝 할 수있는 고급 광학 (advanced optics) 이 특징입니다. 온도는 각 존 (zone) 에서 제어 할 수 있으며, 쿼츠 (quartz) 로 만든 가열 요소와 외부 온도가 편향되는 통합 열 쉴드 (integrated heat shield) 에 의해 유지됩니다. TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 85 Z (TELL/TOKYO ELECTRON ALPHA 85 Z) 는 또한 용광로 온도를 지속적으로 모니터링하고 변경 사항에 신속하게 대응할 수있는 온도 조절 장비를 갖추고 있습니다. TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 85Z에는 암호 보호, 시간 제한, 액세스 경고 등 다양한 안전 기능을 갖춘 고급 컴퓨터 액세스 제어 시스템이 포함되어 있습니다. 이 장치는 또한 글로벌 네트워크 (global network) 의 어느 시점에서나 원격 액세스를 가능하게 하며, 따라서 사용자는 용광로를 모니터링하고 변경할 수 있습니다. 또한 TEL 알파 85-Z (TEL Alpha 85-Z) 에는 다양한 수준의 다양한 요소를 동시에 에칭 및 확산시키기 위해 다양한 재료, 화학 물질, 가스 등 다양한 옵션이 있습니다. 알파 85-Z (Alpha 85-Z) 는 효율적이고 정확한 운영을 위해 포괄적인 프로세스 제어 및 모니터링 소프트웨어를 갖추고 있습니다. 이 프로그램은 전원 제어, 온도 조절, 다른 프로세스의 타이밍 (timing) 등 용광로에 대한 실시간 분석 및 진단 기능을 제공합니다. 또한 기록 보관 (Record Keeping) 및 로그 유지 관리 기능이 내장되어 있어 사용자가 결과를 저장, 추적, 보고할 수 있습니다. 알파 85 Z (ALPHA 85 Z) 는 우수한 온도, 정확도, 제어 기능을 통해 집적회로 및 기타 전자 부품을 신속하게 생산할 수 있는 안정성이 뛰어난 고성능 확산 로입니다. 필요에 따라 원격 액세스, 다중 영역, 재료별 구성을 지원하는 고급 제어 시스템 (Advanced Control Machine) 이 제공됩니다. 즉, 운영 중단을 최소화하면서 지속적으로 실행되도록 설계되었으며, 포괄적인 고객 지원 툴을 통해 지원됩니다.