판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 85-Z #293806756

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 85-Z는 TEL에서 제조 한 고급 확산 로와 관련 액세서리입니다. TEL ALPHA 85Z는 온도 범위가 100 ° C ~ 1100 ° C인 정확한 온도 조절을 제공하도록 설계되었습니다. 이것은 고압 유도 가열 요소, 세라믹 도가니 (ceramic crucible), 미세 온도 조정 (fine temperature adjustment) 및 용광로의 2 개 전기 구역 각각에서 독립적으로 온도를 제어하기위한 potentiostat (potentiostat) 를 포함하여 신중하게 설계된 구성 요소의 조합을 통해 달성됩니다. 85-Z는 또한 정확한 온도 조절을 위해 독특하고 특허를받은 쿼츠-크리스탈 기반, 풀 레인지 열 모니터를 갖추고 있습니다. 이 장비에는 전체 프로세스를 처음부터 끝까지 제어하기위한 핫 존 (hot-zone) 모니터링 시스템도 있습니다. 핫 존 (Hot-Zone) 모니터링 장치에는 깨끗한 작업 환경을 보장하는 강력한 파편 수집 필터가 있습니다. 도쿄 전자 알파 85 Z (TOKYO ELECTRON ALPHA 85 Z) 의 다른 특징으로는 용광로 환경에서 산소의 부분 압력을 감소시켜 확산 과정을 향상시키는 진공기가 있습니다. 이 도구 에는 또한 배기 "필터 '가 있는데, 이" 필터' 는 먼지 와 대기 중 에 들어오는 원치 않는 다른 입자 들 을 최소화 하는 데 도움 이 된다. 용광로 자체는 고급 알루미늄 합금으로 만들어졌으며, 이는 부식 및 열 생성 마모 및 눈물에 강합니다. TOKYO ELECTRON ALPHA 85-Z 확산 로에는 일련의 액세서리도 포함되어 있습니다. 이 액세서리에는 용광로의 특정 영역에 대한 온도를 정확하게 제어하기위한 강철 핀 포인트 소스 (steel pin-point source) 가 포함됩니다. 또한 더 넓은 지역에 열을 제어하기위한 흑연 서셉터 (graphite susceptor) 도 포함되어 있습니다. 또한, 확산 과정에서 열 응력을 최소화하고 산화를 제어하기위한 퍼니스 라이너 (furnace liner) 가 포함되어 있습니다. 이것은 확산 과정의 균일성을 향상시키는 데 도움이됩니다. 용광로 자체 외에도 TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 85 Z에는 강력한 온보드 PC도 포함되어 있습니다. 이 PC는 자산의 제어센터 (Control Center) 로, 용광로를 작동시키고 개별 부품을 모니터링, 규제할 수 있다. 따라서 오류 없이 매우 효율적으로 작업을 수행할 수 있습니다. 결론적으로, 알파 85-Z (Alpha 85-Z) 는 정확한 온도 조절과 효율적인 확산을 제공 할 수있는 강력하고 고급 확산 로입니다. 여기에는 확산 프로세스를 강화하고 제어하는 일련의 액세서리 (액세서리) 와 정확한 작동을 위한 온보드 PC (On-Board PC) 가 포함되어 있습니다. 이로 인해 TEL ALPHA 85 Z는 반도체 제작의 고급 확산 응용 분야에 이상적입니다.