판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 81-ZV #9092859

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 81-ZV 확산 로는 통합 장치 처리에 사용되는 단일 욕조, 수직 용광로 장비입니다. 최대 1,100 ° C의 공정을 자랑하며 최대 6 개의 웨이퍼를 수용 할 수 있습니다. 메인 프레임, 가스 라인, 상단 수평 열 차폐, 하단 수평 열 차폐, 서셉터 및 웨이퍼 보트로 구성됩니다. 메인 프레임은 스테인리스 스틸 (stainless steel) 로 만들어졌으며 고순도 질소 퍼지 가스 배기 시스템을 갖추고 있습니다. 또한 작은 가스 실린더 장소, 석영 유리 창 및 셔터가 포함되어 있습니다. 가스선은 모든 종류의 공정에 대한 반응 챔버에 질소, 수소 또는 할로겐화 수소를 제공합니다. 상단 및 하단 수평 열 방패 (heat shield) 는 반응 방을 형성하며 열 절연을위한 고급 알루미나 세라믹 재료로 만들어진다. 서셉터는 원통형, 고온 석영 유리이며 직경은 8 인치 (203mm) 입니다. 웨이퍼 보트는 100mm 직경으로 최대 6 개의 웨이퍼를 유지하도록 설계되었습니다. 보트는 석영 재료 (quartz material) 로 만들어졌으며 가스가 보트를 통해 반응 챔버 (reaction chamber) 에 들어갈 수 있도록 내장 채널이 제공됩니다. 퍼니스에는 터치스크린 컬러 모니터 (Touch Screen Color Monitor) 가 있어 온도 및 기타 설정을 모니터링하고 제어할 수 있습니다. 프로세스 레시피를 용광로에 쉽게 로드할 수있는 레시피 프로그램 (Recipe Program) 기능도 있습니다. 이 장치는 또한 다양한 장치 요구를 충족시키기 위해 다양한 모드 (예: 빠른 산화, 빠른 질화, 저온 질화, 슬롯 산화 등) 를 갖는 산화/질화 기계를 특징으로합니다. 공정 챔버 (process chamber) 에 배기 팬을 사용하여 안정적인 압력을 유지하고 안전하고 깨끗한 분위기를 보장할 수도 있습니다. 마지막으로, TEL 알파 81-ZV (TEL Alpha 81-ZV) 의 디자인에 다양한 안전 기능이 내장되어 있으며, 이는 경보 소리 외에도 전력 고장 발생 시 용광로의 안전한 작동을 다시 시행합니다. 결론적으로, TOKYO ELECTRON ALPHA 81-ZV 확산 로는 광범위한 기능을 제공하여 통합 장치 처리를 위해 매우 효율적이고 비용 효율적인 도구를 제공합니다. 다른 확산 용광로 시스템에는 없는 안전 (safety) 과 편리성을 조합하여 제공합니다.