판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 81-ZAN #9092857

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 81-ZAN은 반도체 처리 응용 분야에 사용되는 정교한 확산 로와 액세서리입니다. 열 순환 옵션이 있는 정교한 다중 영역 온도 제어 (multi-zone temperature control) 기능을 통해 초고수율 및 최상위 품질 출력에 대한 정밀 프로세스 매개변수를 제공합니다. TEL Alpha 81-ZAN으로 생성 된 정밀도는 레이어 전송, 고온 산화 과정, 질화물 처리, 증기 증착 과정과 같은 프로세스를 일관되게 고효율로 수행 할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON Alpha 81-ZAN (TOKYO ELECTRON Alpha 81-ZAN) 에는 방향 유형, 다중 챔버 진공 확산 로와 다양한 확산 프로세스를 준비 및 제어하기위한 완전한 도구 세트를 제공하는 하드웨어 및 소프트웨어 부품 장비가 포함되어 있습니다. 공정 챔버 (Process Chamber) 는 고급 스테인리스 스틸 (Stainless Steel) 로 구성되며 2 개의 독립적 인 온도 영역이있는 난방 코일 시스템을 포함하여 다른 확산 속도를 허용합니다. 고급 켈빈 기반 온도 제어 장치 (temperature control unit) 를 사용하면 프로세스 매개변수를 조절하여 정확성과 반복성을 높일 수 있습니다. 이 시스템에는 전원 수준 및 온도 조절 설정을 지속적으로 모니터링 할 수있는 ASC (Automatic Tool Controller) 도 포함되어 있습니다. 또한 ASC 는 RS485 원격 진단 (Remote Diagnostics) 기능을 통해 기간별 데이터 로그에 액세스할 수 있으며 프로세스 최적화 및 문제 해결도 지원합니다. 에셋에는 또한 다양한 응용 프로그램에 대한 프로세스 챔버 내에서 정확한 압력을 만들 수있는 VPECD (Variable Pressure Emission Control Device) 가 포함되어 있습니다. 안전성과 장기적인 신뢰성을 위해, 알파 81-ZAN (Alpha 81-ZAN) 에는 온도 안전 모니터와 가스 흐름을 제어하기위한 연동 모델이 장착되어 있습니다. 유지 보수 및 가동 중지 시간을 줄이기 위해, 이 장비는 인체 공학적으로 최적화된 주택과 간편한 모니터링 및 진단을 위한 내장형 LED 디스플레이 (LED display) 로 설계되었습니다. 이 장치에는 쿼츠 튜브, 캡, 쿨러 등 샘플 홀딩 소모품 세트도 제공됩니다. 요약하자면, TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 81-ZAN은 고급 확산 로와 고급 반도체 처리 기능을 위해 설계된 액세서리입니다. 온도 조절 (temperature control), 정확한 프로세스 매개변수 (process parameter), 시스템 모니터링 및 최적화에 필요한 하드웨어/소프트웨어 도구를 사용할 수 있는 다양한 기능을 제공합니다. TEL 알파 81-ZAN (Alpha 81-ZAN) 은 안전성 (Safety) 과 신뢰성 (Reliability) 기능을 결합하여 기술 및 전자 업계에서 매우 까다로운 어플리케이션을 위한 완벽한 선택입니다.