판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 81-ZA #9092848

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 81-ZA는 소전기 부품에 사용하기 위해 단일 결정질 실리콘 (Si) 및 기타 화합물 재료와 같은 고순도 반도체 재료 생산을 위해 설계된 최첨단 확산 로와 액세서리입니다. 이 고성능 장비는 빠르고 효과적인 마이크로 관리 모듈 (micro-management module), 초고해상도 이미징 시스템, 극한의 온도 안정성 등과 같은 첨단 기술에 의해 구동됩니다. 프로세스 제어 모듈 (Process Control Module) 이라고도 하는 빠르고 효과적인 마이크로 관리 모듈은 프로세스 엔지니어가 퍼니스의 온도와 압력 매개변수 (Pressure Parameter) 를 정밀하게 프로그래밍하고 관리할 수 있습니다. 이 모듈은 용광로 (furnace) 프로세스의 모든 매개변수와 조건을 면밀히 모니터링할 뿐만 아니라, 문제를 실시간으로 빠르고 쉽게 진단, 평가, 수정할 수 있습니다. 장치 내에 설치된 초고해상도 이미징 장치를 사용하면 0.1 미크론 (1/100/1 밀리미터) 정도의 작은 구성 요소를 자세히 측정 할 수 있습니다. 극한의 온도 안정성은 용광로의 성능을 더욱 강화합니다. 섭씨 10도에서 2000도 사이의 온도에서 정확하고 일관됩니다. TEL Alpha 81-ZA 확산 로는 도어 (Door), 전면 액세스 패널 (Front Access Panel) 및 안전 도어 (Safety Door) 와 같은 구성 요소가 모두 기계의 하단에 위치한다는 점에서 인체 공학적 설계를 가지고 있습니다. 따라서 장치 내부에 쉽게 액세스할 수 있습니다. 또한, 확산 로의 내부 공간 사용률 (efficient space utilization) 은 더 빠른 속도와 정확도로 부품과 컴포넌트를 채울 수 있도록 합니다. 또한 확산 프로세스가 쉽게 자동화된다는 점도 주목할 만하다. TEL/Tokyo Alpha Series 소프트웨어를 사용하면 메모리 뱅크에 최대 16 개의 레시피를 저장하여 신속하게 참조 및 수정할 수 있습니다. 이를 통해 공정 레시피를 개발하기 쉽고, 고급 반도체 장치의 설계 및 생산을 지원합니다. 마지막으로, TOKYO ELECTRON ALPHA 81-ZA 확산 로는 세부 모니터링 및 자동화 모두 광범위한 안전 측정 인증을 받았습니다. 이로써 이 도구 는 안전 하게 사용 할 수 있으며, "반도체 '재료 의 생산 을 위한 편안 하고 안전 한 환경 을 마련 해 준다. 요약하면, Alpha 81-ZA는 정확성, 정확성, 전문성, 안전성을 염두에 두고 설계된 고급적이고 신뢰할 수있는 확산 로와 액세서리입니다. 초고해상도 (Ultra-High Resolution), 온도 안정성 (Temper Stability), 자동화된 프로세스 제어 (Automated Process Control) 등의 여러 첨단 기능을 업계 표준 요구 사항을 충족하는 하나의 종합적인 자산으로 결합하여 최신 반도체 장치 생산에 이상적인 솔루션이 됩니다.