판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 81-ZA #9092846

텔/도쿄 전자 알파 81-ZA (TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 81-ZA) 는 정확한 열전 침전물을 위해 도펀트 및 온도 프로파일을 정확하게 제어 할 수있는 확산 로와 액세서리입니다. 이 확산 용광로는 최대 1050 ° C의 공정 온도를 제공하며, 균일성을 향상시키기 위해 다중 영역 (multi-zone) 및 빠른 위로/아래로 램프 기능을 모두 제공합니다. 또한 열 분해 기술을 통해 프로세스 균일성 및 프로세스 유연성을 향상시킵니다. TEL Alpha 81-ZA 장비는 여러 액세서리와 함께 용광로 구역 (furnace zone) 및 컨트롤러 (controller) 로 구성됩니다. 용광로 구역은 수직 석영 관 (또는 튜브 보트) 과 알루미나 탑로드 난로로 구성됩니다. 이렇게 하면 수평 대류 냉각이 가능하여 균일성과 빠른 처리가 향상됩니다. 이 용광로에는 프로세스 효율성 및 안전 향상을 위해 쿼츠 라이너 (quartz liner) 및 석면 절연체가 장착되어 있습니다. 시스템 컨트롤러는 사용자에게 큰 그래픽 아이콘 (icon) 을 제공하여 메뉴와 프로세스를 안내합니다. 이를 통해 사용자는 압력, 온도, 난방 속도 및 기타 기능을 정확하게 제어 할 수 있습니다. 이 컨트롤러에는 정확한 온도 측정 및 제어를 위해 정확한 센서와 열전대 (thermocouple) 프로브도 장착되어 있습니다. TOKYO ELECTRON ALPHA 81-ZA 장치에는 효율적이고 정확한 처리를 위해 다른 여러 액세서리도 포함되어 있습니다. 여기에는 푸시 풋리프터, 쿼츠 도가니, 웨이퍼 캐리어, 확산 벨 항아리, 간격 바, 진공 포트 및 수냉식 전극이 포함됩니다. 이 모든 것은 안전하고 효율적인 확산 프로세스를 제공하기 위해 함께 작동합니다. 전반적으로, Alpha 81-ZA는 정확하게 제어 된 처리를 위해 고급 확산 로와 액세서리 기계입니다. 다중 영역 정확도와 뛰어난 프로세스 균일성을 통해 최대 1050 ° C의 온도를 제공합니다. 사용자에게 친숙한 컨트롤러와 다양한 액세서리도 정확한 제어, 편의성, 안전성을 제공합니다. 이 도구는 정확한 열전 증착이 필요한 모든 응용 프로그램에 이상적입니다.