판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 81-ZA #293610634
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텔/도쿄 전자 알파 81-ZA (TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 81-ZA) 는 산화, 질화, 탄화 등의 기능이 필수적인 제품에 대한 정확한 생산 프로세스 제어 및 일관된 수율을 가능하게하도록 설계된 확산 로이자 액세서리입니다. 저비용 (LCO), 신속한 프로세스 시간 (Process Time) 을 비롯하여 다양한 프로세스를 처리할 수 있도록 설계되었으며, 다양한 기능과 툴을 제공하여 디바이스의 품질을 보장합니다. TEL Alpha 81-ZA는 기본 컨트롤러, 전원 공급 장치, 확산 광로, 가스 박스 및 가스 믹서와 다양한 옵션 액세서리로 구성됩니다. 주 "컨트롤러 '는 전원 공급 장치 와 확산 로 를 제어 할 수 있을 뿐 아니라" 가스' 믹서 와 "가스 '상자 에 대한 제어 도 제공 한다. "가스 '혼합기 는 정밀 한" 가스' 조절 을 통해 확산 과정 중 에 "가스 '농도 를 용광로 에 정확 하게 전달 할 수 있다. 약실 의 가열 은, 가열 전류 를 조절 할 수 있는, 유도 가열 에 의하여 유지 된다. 또한 온도를 최대 1000 ° C로 정확하게 조정할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON Alpha 81-ZA는 또한 압력 위치의 변동을 줄이기 위해 다양한 진공 펌프 및 필터를 포함합니다. 확산 용광로 (diffusion furnace) 에는 장비를 사용하는 동안 사용자의 안전을 보장하기 위해 다양한 안전 기능이 포함되어 있습니다. 정확한 열 제어를 위해, 패키지에는 조정 가능한 온도 모니터와 자동 추적 생성기 (auto-track generator) 가 포함되어 있어, 정밀한 온도 모니터링 및 제어가 가능합니다. 또한, 화로-실온 제어 모듈은 챔버에서 급격한 온도 하락을 피하기 위해 사용됩니다. 자동 샘플링 리프팅 암 (sample lifting arm), 거리 센서 (distance sensor), 로봇 암 (robot arm) 과 같은 다양한 액세서리도 확산 과정의 효율성과 정확성을 향상시킬 수 있습니다. 소프트웨어 (옵션) 는 사용자가 용광로를 완벽하게 제어할 수 있도록 하며, 뛰어난 시스템 데이터 보안과 함께 사용자에게 친숙한 인터페이스를 제공합니다. 전반적으로 Alpha 81-ZA는 강력하고 안정적이며 정확한 확산 로입니다. 제어 옵션, 액세서리 (옵션), 고급 안전 기능 (advanced safety features) 및 데이터 보안 (data security) 의 조합으로 질소 조절과 카버라이제이션과 같은 까다롭고 정확한 어플리케이션에 이상적인 선택입니다.
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