판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 808SN #9083660

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 808SN Diffusion Furnace & Accessorie는 반도체 칩 및 기타 실리콘 제품 제조에 사용되는 제어 열 및 화학 공정을 갖춘 완전 자동화 된 반도체 생산 도구입니다. TEL Alpha 808SN (TEL Alpha 808SN) 은 TEL의 최신 모델로, 다양한 기능과 설계 기능이 향상되어 모든 생산 환경에 적합합니다. TOKYO ELECTRON Alpha 808SN은 고온 챔버와 3 개의 독립적 인 공정 오븐을 특징으로하며, 각각 열 산화, 불순물 도핑 및 인 도핑 (Phosphorus Doping) 프로세스를위한 자체 공정 성분을 갖추고 있습니다. 고급 제어 (Advanced Control) 장비는 온도, 흐름 속도, 압력 및 기타 프로세스 매개변수를 모니터링하여 일관성 있고 반복 가능한 수율을 보장하도록 설계되었습니다. 각 프로세스마다 다양한 레시피 (레시피) 를 지원하며, 맞춤형 생산 요구에 맞게 레시피 (레시피) 를 사용자 정의할 수 있습니다. 알파 808SN (Alpha 808SN) 에는 독특한 2 단계 빠른 쿨다운 시스템이 포함되어 있어 챔버의 빠른 냉각과 공정 오븐이 입자 오염 및 균일 성 문제를 줄일 수 있습니다. 이 2 단계 장치는 또한 에너지 소비를 줄이고, 예열과 주기 정지 후 온도를 목표로 한 빠른 회복을 허용합니다. 이 머신은 처리량과 신뢰성을 향상시킵니다. TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 808SN은 또한 3 상, 낮은 잔물결, D.C. 전력을 통합하여 각 프로세스에 최적의 전력을 공급하는 지능형 전원 공급 도구를 갖추고 있습니다. 이 효율적인 전력 공급은 열 스트레스를 최소화하고 온도 안정성과 균일성을 향상시킵니다. TEL 알파 808SN (Alpha 808SN) 에는 안전 환경을 보장하면서 프로세스 오븐 내부의 압력 수준을 최적화하는 내장 압력 제어 자산도 있습니다. 이 모델은 챔버에서 통제 된 대기를 유지하고 가스 누출이 효과적으로 제거되어 공정 수율 (process revield) 이 향상됩니다. 마지막으로, TOKYO ELECTRON Alpha 808SN은 웨이퍼를 쉽게 전송하고 적재 할 수있는 자동 컨베이어 장비를 갖추고 있습니다. 이 시스템은 최소한의 운영자 상호 작용이 필요하며, 효율성을 높이고 운영 중단 시간을 줄이기 위해 설계되었습니다. 컨베이어 유닛은 또한 프로세스 오븐에 웨이퍼를 정확하게 배치합니다. 결론적으로 Alpha 808SN Diffusion Furnace & Accessorie는 고급적이고 신뢰할 수있는 반도체 생산 도구입니다. 이 제품은 정밀한 프로세스 제어, 신속한 냉각, 효율적인 전원 공급, 압력 제어, 자동 컨베이어 머신 (Conveyor Machine) 등의 기능을 제공하며, 이 모든 기능을 통해 효율성 및 안정적인 생산 결과를 얻을 수 있습니다.