판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 808SE #9083661

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 808SE 확산 로는 고성능 반도체를 제작하려는 실험실을위한 혁신적인 도구입니다. 강력한 드라이브 및 제어 기술을 통해 정확하고 정확한 웨이퍼 처리가 가능합니다. 효과적인 웨이퍼 확산을 위해 큰 챔버 크기와 다양한 고급 냉각 기능을 자랑합니다. 진공 퇴화 챔버 (vacuum degassing chamber) 는 효율적인 열 어닐링을 위해 최적의 퍼지 조건을 유지합니다. TEL Alpha 808SE 확산 로는 8 x 8 mm ~ 8 x 12 인치의 다양한 웨이퍼 크기와 호환됩니다. 소비량이 낮고 처리량이 높으며, 사용자가 효율적이고 효율적인 워크플로를 제공합니다. 자동 챔버 압력 제어 (Automatic Chamber Pressure Control) 는 다양한 부하 간의 불일치를 제거하는 반면, 기본 (Furnace) 안전 시스템은 정전 또는 기타 예기치 않은 상황의 경우 안전을 보장합니다. TOKYO ELECTRON Alpha 808SE 확산 로에는 고해상도 이미징 시스템이 통합되어 있어, 사용자가 확산 과정을 실시간으로 모니터링할 수 있습니다. 이미지 처리 (image processing) 기능을 사용하여 화학적 농도의 변화를 감지하여 정확하고 정확한 확산을 보장할 수 있습니다. Alpha 808SE에는 확산 프로세스의 추가 최적화를위한 추가 액세서리도 포함되어 있습니다. Papperler Turbo 쿼츠 유리 부동 보트는 확산 단계에서 더 빠른 냉각 및 깨끗한 균일 성을 제공합니다. 옵션 로터리 엔드 캡 (Rotary End Cap) 장치는 가스 입력 및 챔버 압력을 정확하게 제어하여 공정 수율을 향상시킵니다. 차폐 (옵션) 뚜껑은 대기 중 수분 오염을 방지하여 각 웨이퍼의 안전성을 더욱 높입니다. 사용자는 808SE 의 강력한 성능과 다양한 액세서리 (옵션) 를 활용하여 웨이퍼 (wafer) 제작에 최적의 결과를 얻을 수 있습니다. 고급 기능 및 도구를 사용하면 가장 까다로운 반도체 (semiconductor) 애플리케이션의 요구 사항을 초과할 수 있습니다.