판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 808SD #9097854

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 808SD는 뛰어난 장치 성능과 신뢰성을 제공하는 고급 확산 로와 액세서리입니다. 이 확산 퍼니스는 일체형 전원, 열, 제어 장비를 갖춘 단일 모듈 (single-module) 설계를 통해 제조업체가 설비에 쉽게 통합 할 수 있습니다. TEL Alpha 808SD는 또한 2 개의 모듈로 구성된 이중 빌딩 시스템을 갖추고 있으며, 첫 번째 모듈은 가열 속도 (Heating Rate), 온도 균일성 (Temperity) 및 열 균일성 (Thermal Uniformity) 을 제어하고 두 번째 모듈은 레시피 기반 작업을 실행합니다. TOKYO ELECTRON ALPHA 808 SD는 두 개의 사이드월과 내부 스페이서 가열이 장착 된 수평으로 적재 된 돔 모양의 퍼니스를 사용하여 열 균일성과 반복 성을 향상시킵니다. 용광로는 고급 적외선 난방 장치 (advanced infra-red heating unit) 와 전기 청소기 (electro-cleaning machine) 를 사용하여 뛰어난 성능을 제공합니다. 돔 모양으로 인해, 퍼니스는 웨이퍼 처리를 위해 섭씨 30 ~ 1000 도 사이의 큰 온도 범위를 유지할 수 있습니다. 퍼니스에는 환경 변동으로부터 보호하기 위해 폐쇄 된 루프 온도 컨트롤러가 장착 된 내장 더블 히트 실드 (double heat shield) 가 장착되어 있습니다. 이 확산 용광로는 다양한 웨이퍼 크기, 직경 최대 8 인치, 한 번에 최대 30 개의 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 알파 808SD (Alpha 808SD) 에는 최대 10 개의 프로그래밍 가능한 레시피가 포함되어 있어 사용자가 열 처리 기술을 쉽게 사용자 정의할 수 있습니다. 용광로는 온도 기울기 (gradient gradient) 와 변동 (fluctuation) 을 정확하게 제어 할 수있는 반면, 균일성 제어는 한쪽에서 다른 쪽으로의 최소한의 변화를 보장합니다. TEL ALPHA 808 SD는 국제 안전 표준을 충족하도록 설계 및 설계되었으며, 용광로에는 인터 록 (Interlock) 도구, 과온 탐지기, 긴급 경보 장치 및 최적의 안전을 위해 자동 종속 (auto-shown) 과 같은 포괄적 인 보호 기능도 장착되어 있습니다. 고급 설계에는 손실을 최소화하고 에너지 소비를 감소시키는 열 단열도 포함됩니다. 도쿄 전자 알파 808SD (TOKYO ELECTRON Alpha 808SD) 는 강력하고 신뢰할 수있는 확산 로와 액세서리를 나타내며, 향상된 생산 수익률, 반복 가능성 및 프로세스 신뢰성을 추구하는 제조업체에게 완벽한 선택입니다.