판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 808SD #9097849

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 808SD는 웨이퍼 제조 고품질 처리에 사용되는 확산 로와 액세서리입니다. 확산 로의 통합 컨트롤러와 고속 데이터 통신 장비는 기계식 교환 없이 최대 8 개의 웨이퍼 (wafer) 를 처리 할 수 있습니다. 이를 통해 시스템은 깨끗하고 균질한 표면 구조로, 안정적인 반도체 성능에 중요한 정확한 웨이퍼를 생산할 수 있습니다. TEL Alpha 808SD 확산 로는 저밀도 석영 유리 튜브 챔버에서 움직이는 쿼츠 튜브를 사용합니다. 이렇게 하면 다른 확산 처리 "모델 '보다 더 빨리" 튜브' 를 가열 하고 냉각 시켜서 처리 시간 이 짧아지고 수율 이 높아진다. 그런 다음, 방은 고압 질소로 제거되어, 낮은 온도를 유지하고, 내부 웨이퍼를 오염으로부터 보호합니다. TOKYO ELECTRON ALPHA 808 SD는 또한 BSA (Backside Arsenic) 공정의 자동 3 방향 생성을 제공하는 가스 공급 장치를 갖추고 있으며, 이 공정을 매우 정확하게 제어 할 수 있습니다. 확산 용광로는 또한 CHOD (Chemical Hydrogenated Oxidation Deposition) 공정을 특징으로하여 품질을 유지하면서 프로세스 시간을 최대 3/4까지 단축 할 수 있습니다. 또한 ALPHA 808 SD 는 로드 잠금 (load lock) 전송을 지원하므로 웨이퍼 노출 및 오염을 최소화할 수 있습니다. 통합 클럭 복구 회로는 Semiconductor Insulated Gate Bipolar Transistor (Si-IGBT) 컨트롤러와 통신할 수 있는 고속 I/O 포트를 제공합니다. 이렇게 하면 프로세스 매개변수를 정확하고 세밀하게 조정하여 고품질 웨이퍼 (wafer) 를 생성할 수 있습니다. TEL ALPHA 808 SD는 낭비를 최소화하면서 고품질 웨이퍼를 생산할 수 있는 매우 안정적이고 효율적인 확산 로입니다. 통합 컨트롤러와 고속 데이터 통신 머신 (high-speed data communication machine) 은 기계적 교환 없이 일관된 처리를 제공하며, CHOD 프로세스는 처리 시간을 단축시키고 높은 수율을 제공합니다. 로드 잠금 (load lock) 전송은 웨이퍼 오염을 최소화하고 통합 클럭 복구 회로는 프로세스 매개변수의 정확한 제어를 보장합니다. TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 808 SD를 사용하면 반도체 제조업체가 안정적이고 효율적인 확산 로를 보장 할 수 있습니다.