판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 808SD #9097836

TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 808SD
ID: 9097836
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 1994
Diffusion furnace, 8", 1994 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 808SD는 경쟁 가격으로 고품질 영화 생산을 제공하기 위해 설계된 확산 로와 액세서리입니다. 이 유형의 확산 로는 전통적인 확산 로와 동일한 확산 원리 (diffusion principle) 를 사용하여 박막을 기판에 입금합니다. TEL 알파 808SD (TEL Alpha 808SD) 에는 고정밀 온도 조절 장비가 장착되어 있어 다양한 응용 프로그램에서 정확한 온도 설정을 사용할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON ALPHA 808 SD는 고성능 용광로이며, 고급 생산 프로세스에 이상적인 여러 기능을 포함합니다. 용광로에는 챔버 개방 (chamber opening) 을 최소화하고 전체 증착 과정에서 깨끗한 분위기를 보장하는 연속 적재 메커니즘이 장착되어 있습니다. 또한 여러 도구와 기판을 동시에 배치 할 수있는 큰 형식의 상공 챔버 (upper chamber) 가 있습니다. 상공 챔버에는 최대 700mm 크기의 대형 기판을 보유 할 수있는 기능이 있습니다. 알파 808SD (Alpha 808SD) 는 다목적 확산 로로, 프로세스 제어를 개선하기위한 선택 기능을 포함합니다. 용광로에는 반복 가능성을 위해 설계된 고사양 컨트롤러 (High-Specification Controller) 가 장착되어 있으며 프로세스 기간 동안 지속적으로 정확한 온도 설정을 제공합니다. 강력한 진공 시스템은 깨끗한 분위기를 가능하게하며 박막의 효율적인 증착을 촉진합니다. 가스포획장치 (gas capture unit) 도 대기에 유해가스를 방출하는 것을 막아 환경 위험을 최소화하는 데 도움이 된다. 알파 808 SD (ALPHA 808 SD) 는 내구성과 성능을 연장하는 다양한 안전 및 유지 관리 기능으로 설계되었습니다. 이 용광로에는 온도 초과 사격 (temperature overshoot) 및 전력 변동과 관련된 사고를 방지하기 위해 고급 안전기 (Advanced Safety Machine) 가 장착되어 있습니다. 또한, 공구 성능을 모니터링하는 진공 게이지 (vacuum gauge) 도 포함되어 있어 입자 오염과 관련된 문제를 예방할 수 있습니다. 도쿄 전자 알파 808SD (TOKYO ELECTRON Alpha 808SD) 는 또한 내부 공간 전체에서 균일 한 온도를 유지하는 데 도움이되는 독특한 내부 냉각 구조로 설계되었습니다. TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 808 SD는 저렴한 패키지에서 높은 수준의 확산 성능을 제공합니다. 이 유형의 확산 용광로 (diffusion furnace) 와 액세서리 (accessory) 는 연구 개발 프로젝트에 이상적인 다양한 기능을 제공합니다. 고성능 구성요소, 고급 안전/유지 보수 (Safety/Maintenance) 기능을 통해 고객은 제품 결과의 품질을 자신있게 활용할 수 있습니다.
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