판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 808SD #9083546
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TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 808SD Mass Flow Diffusion Furnace는 다양한 응용 분야에 사용되는 다양한 가스 및 증기의 온도, 압력 및 유율을 제어하기위한 최첨단 장비입니다. 이 시스템은 확산 프로세스 (diffusion process) 를 정확하고 반복적으로 제어하는 데 사용될 수 있으므로 실험적 (experimental) 과 생산적 (production-scale) 처리 모두에 신뢰할 수있는 옵션입니다. TEL Alpha 808SD는 최고 작동 온도 2500 ° C, 온도 정확도 0.1 ° C로 매우 높은 온도를 유지할 수 있습니다. 이 장치는 최대 압력 10KPa 및 압력 정확도 0.5Pa (0.5Pa) 로 매우 정확한 압력 및 유속 제어를 특징으로합니다. TOKYO ELECTRON ALPHA 808 SD는 또한 최대 16 개의 사용자 프로그래밍 가능한 가스 농도 프로필뿐만 아니라 온도, 압력, 가스 농도 및 유속을 실시간으로 표시하여 확산 프로세스에 대한 실시간 모니터링 및 제어를 제공합니다. TEL ALPHA 808 SD는 질량 흐름 컨트롤러 (Mass Flow Controller) 와 적외선 가열기 (Infrared Heating Machine) 를 사용하여 공정 가스의 온도와 유량을 정확하게 제어합니다. 질량 흐름 제어기 (Mass Flow Controller) 는 스로틀 (throttle) 역할을하여 공정 가스의 흐름을 조절하는 반면, 적외선 가열 도구는 공정 챔버의 균일 한 가열을 제공합니다. 알파 808 SD (ALPHA 808 SD) 에는 확산 프로세스를 실시간으로 모니터링하는 데 사용되는 광학 창도 포함되어 있습니다. TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 808 SD에는 온보드 안전 자산이 포함되어 있으며, 자동 비상 차단은 온도나 압력이 사전 설정 한계를 초과해야합니다. 또한 프로세스 챔버 (process chamber) 내의 특정 조건에 대해 사용자에게 경고하도록 설정할 수 있는 경고가 포함됩니다. 이들 기능은 모두 함께 제공되어, 연구/생산에 안전하고 안정적인 확산 환경을 제공합니다. Alpha 808SD에는 자동 샘플 체인저, 샘플 홀더, 펌프 및 압력 트랜스듀서를 포함한 다양한 액세서리가 제공됩니다. 또한 가스 농도의 실시간 제어를 위해 산소 모니터링 모델 (산소 모니터링 모델) 과 대량 흐름 컨트롤러 (mass flow controller) 와 같은 다양한 제어 시스템이 장착 될 수 있습니다. 또한, 원격 모니터링 및 제어를 위해 다른 장치 (예: 데스크탑 컴퓨터) 와 상호 작용할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON Alpha 808SD Mass Flow Diffusion Furnace는 광범위한 어플리케이션에 대한 극도의 정밀도, 정확성 및 신뢰성을 제공합니다. 첨단 디자인과 다양한 액세서리 (액세서리) 는 모든 연구/생산 요구에 맞게 맞춤형으로 구성할 수 있습니다. TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 808SD는 신뢰할 수있는 확산 처리를 위한 뛰어난 솔루션입니다.
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