판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 808SD #9083543

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 808SD (액세서리가 포함 된 대기/변조/고온 확산로) 는 인 및 붕소 확산을 포함하여 매우 정밀하고 고온 처리 응용 분야를 제공하는 일체형 배치 확산 로입니다. TEL 알파 808SD (TEL Alpha 808SD) 의 고급 설계는 전체 작업 영역에서 높은 열 안정성과 균일성을 보장하여 정확하고 정확한 프로세스 제어를 지원합니다. TOKYO ELECTRON ALPHA 808 SD는 강력하고 신뢰할 수있는 유도 난방 시스템을 갖추고 있으며, 최대 전력은 최대 30kW이며, 주위 80 ~ 1,200 ~ 최대 온도를 제공합니다. 또한, 용광로는 정확한 온도 측정 및 제어를 위해 광학 피로미터 (optical pyrometer) 를 사용하며, 외부 모니터가있는 공정 제어 컴퓨터 (process control computer) 를 사용하여 명확한 무인 작동을 제공합니다. 이 용광로 는 안전 한 작업 환경 을 유지 하기 위해 설계 되었는데, 봉인 된 벽 과 절연 벽 이 있는데, 이 벽 은 공정 "온도 '를 방 안 에 감금 시키고 외부 오염 이나 열 손실 을 방지 할 수 있다. 그렇다. 과열 제어 (over-temperature control), 과전압 제어 (over-voltage control) 및 인터 록 (interlock) 을 포함한 여러 안전 및 보호 시스템이 장착되어 잘못된 상태를 감지합니다. 또한 N2, H2, He, O2 및 Ar을 포함한 다양한 프로세스 가스와 호환됩니다. TOKYO ELECTRON Alpha 808SD는 또한 사용자 친화적 인 인터페이스와 직관적인 그래픽 제어판을 통해 손쉽게 작동할 수 있도록 설계되었습니다. 공정 레시피 메모리가 내장되어 있어, 빠르고 정확한 프로세스 설정이 가능합니다. 또한 여러 주변 장치 (예: 카그홀더, 냉각 시스템, 취급 장비, 보호 화면) 를 사용할 수 있습니다. TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 808 SD는 신뢰할 수있는 고온 확산로 시스템에 적합한 선택입니다. 견고하고 안정적인 기술을 활용하여 안전하고 안전한 작업 환경뿐만 아니라, 정확하고 반복 가능한 프로세스 제어를 보장합니다 (영문). 사용이 간편하고 직관적인 제어판 (Control Panel) 으로 작동 및 관리가 간편하며, 다양한 액세서리가 다양한 어플리케이션에 적합합니다.