판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 808SD #9083542

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 808SD는 오늘날의 최신 반도체 제조 공정의 엄격한 요구를 충족시키기 위해 설계된 고속, 최첨단 확산 로와 액세서리 장비입니다. 현재 시중에서 사용 가능한 가장 안정적이고 다양한 확산 시스템 중 하나입니다. TEL Alpha 808SD (TEL Alpha 808SD) 는 강력한 구성과 고급 열 제어 기술을 통해 전체 주기 동안 확산 프로세스의 일관된 정확성과 신뢰성을 보장합니다. 이 완전한 용광로 시스템은 옵션 (High 8 Zone Configuration) 을 포함하여 다양한 고급 기능을 제공하여 핫플레이트 온도를 정확하게 제어하고 프로세스 제어를 강화하기 위해 쿼츠 유리 뚜껑을 쉽게 유지 관리할 수 있습니다. 메인 챔버는 고강도, 스테인리스 스틸 프레임을 사용하여 밀봉할 수 있으며, 측면 RF 생성기와 고정밀 밸브 장치는 우수한 프로세스 반복성을 보장합니다. 이 기계는 또한 확산 주기 (diffusion cycle) 가 진행 중에도 프로세스 설정을 조정하는 기능을 제공하기 때문에 특정 프로세스의 요구 사항에 맞게 조정 할 수있는 예측 보상 (predictive compensation) 을 가진 14 단계 프로세스 컨트롤러 (process controller) 를 포함합니다. TOKYO ELECTRON ALPHA 808 SD에는 프로세스 모니터링 및 데이터 로깅을위한 독점 실시간 소프트웨어 도구가 포함되어 있습니다. 이 자산은 다른 데이터 관리 소프트웨어 솔루션과 통합되어 프로세스 정보를 추적하도록 설계되었습니다. 프로세스 설정을 실시간으로 최적화하고 제품 수율을 향상시키는 데 사용할 수 있습니다. 이 모델에는 에너지 절약 (energy-saving) 자가 가열 기능도 포함되어 있어 전력 전환 (power switching) 을 최적화하여 주기 시간 없이 소비되는 에너지를 줄입니다. 원격 작업 키트 (옵션) 를 추가하여 네트워크 연결을 통한 운영 및 모니터링을 허용하고, 메인 챔버에 통합된 마이크로 슬릿 (micro-slit) 밸브를 사용하면 프로세스를 중단하지 않고 안전하게 대피 할 수 있습니다. 또한, 장비는 운영자 보호를 위해 필요한 모든 안전 표준 (Safety Standard) 을 통과하도록 설계되었습니다. 전반적으로 TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 808 SD는 최신 반도체 제작 프로세스에 이상적인 강력하고 신뢰할 수있는 확산 용광로 시스템입니다. 이 장치는 고급 (advanced) 기능을 통해 제조업체의 가장 정확한 프로세스 요구 사항을 안정적으로 충족할 수 있습니다. 이 기계의 견고한 구성과 직관적인 설계로 운영, 유지 보수가 용이하며, 다른 다양한 데이터 관리 툴과의 호환성을 통해 프로세스 관리 (process management) 를 용이하게 하고, 제품 수율을 최적화할 수 있습니다.