판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 808SD #9083540

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 808SD는 반도체 장비 제조의 글로벌 리더 인 텔 (TEL) 이 설계 한 확산 로와 함께 제공되는 액세서리입니다. 집적 회로 와 다른 "웨이퍼 '의 형성 에 사용 되는 열 처리 장치 이다. TEL Alpha 808SD에는 최적의 처리 결과를 보장하는 여러 구성 요소가 포함되어 있습니다. 이 시스템에는 두 개의 컴퓨터 제어 전원 공급 장치, 고온 라인 및 프로세스 컨트롤러가 있습니다. 또한 확산 용광로, 조절 식 망원경 암 (쉽게 적재 및 언로드) 및 격리 밸브가 포함됩니다. 프로세스 컨트롤러를 사용하면 각 프로세스에 대해 정확한 온도, 대기 가스, 시간 매개 변수를 설정할 수 있습니다. 또한 TOKYO ELECTRON ALPHA 808 SD에는 균일 한 온도 분포와 뛰어난 온도 균일성을 제공하는 독특하게 설계된 확산 로가 제공됩니다. 그 벽은 오염을 방지하기 위해 특별히 코팅되며, 내부에는 오래 지속되는 스테인레스 스틸 라이너 (stainless steel liner) 가 있습니다. 용광로에는 점진적인 난방 시스템과 조정 가능한 배플 (baffle) 이 포함되어 있으며, 이는 균일 한 온도 분포를 유지하는 데 도움이됩니다. 텔 알파 808 SD (TEL ALPHA 808 SD) 는 짧은 시간 안에 많은 기판을 처리 할 수 있으며, 힘 의존적 인 격리 밸브 기술은 안전한 작동과 빠른 냉각을 보장합니다. 또한 모듈식 설계를 통해 구성 요소를 쉽게 유지 관리 및 조정할 수 있습니다. TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 808 SD는 다양한 응용 프로그램에서 효율적인 웨이퍼 처리를 허용합니다. 박막 실리실화, 폴리 실리콘, 게이트 유전체, 선택 지역의 금속 증착 및 MEMS 응용 분야에 이상적입니다. 또한 RTP, 건식 에칭, 확산, 산화, LPCVD 및 금속의 전기 화학 증착에도 적합합니다. 전반적으로 Alpha 808SD는 고가용성 확산 처리 시스템입니다. 뛰어난 웨이퍼 처리 제어, 균일 한 온도 분배 및 안정적인 작동을 제공합니다. 오래 지속되는 스테인레스 스틸 라이너 및 조절 가능한 배플 (baffle) 을 통해 ALPHA 808 SD는 광범위한 확산 처리 응용 분야에 이상적입니다.