판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 808SD #293765074

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 808SD는 확산 로와 액세서리입니다. 열 산화, 드라이브 인 및 드라이브 아웃, 습식 질소 처리 및 기타 확산 처리에 유용한 정확한 환경을 만들도록 설계되었습니다. TEL Alpha 808SD 확산 로의 최대 온도 범위는 최대 1250 ° C입니다. 12.1 "컬러 터치 스크린 프로그래밍 가능한 컨트롤러가 장착되어 있습니다. 프로세스 애플리케이션 (process application) 과 매개변수 (parameter) 의 직접 입력과 각 애플리케이션 유형에 대한 최적의 프로세스 (optimum process) 모드를 선택할 수 있습니다. 컨트롤러는 최대 40개의 레시피를 메모리에 저장할 수 있습니다. 컨트롤러에는 선택 가능한 화면 표시 옵션이 있는 프로세스 모니터링 기능이 있습니다. TOKYO ELECTRON ALPHA 808 SD 확산 로에는 마이크로 프로세서 기반 PMS (Process Monitoring Equipment), 아날로그 광학 피로미터, 열전대 및 드라이브 인 제어 시스템이 장착되어 있습니다. PMS는 온도 설정, 온도 속도, 총 주기 시간 (total cycle time) 과 같은 프로세스 변수를 자동으로 계산할 수 있습니다. 또한 과온, 온도가 낮은 및 온도 편차 경보와 같은 다양한 자동 경보가 특징입니다. 알파 808SD 확산 로에는 자동 로더가 장착되어 있습니다. 자동 로더는 확산 로에 여러 개의 웨이퍼를 쉽고 효율적으로 로딩 할 수 있도록 설계되었습니다. 중력, 진공 및 스프링 로딩 캐리어와 같은 다양한 유형의 캐리어가 특징입니다. 자동 로더에는 정밀 이동을위한 마이크로 프로세서 제어 메커니즘 (microprocessor-controlled mechanism) 이 장착되어 처리 된 표면에서 정확하고 균일한 온도 분포를 보장합니다. TOKYO ELECTRON Alpha 808SD 확산 로에는 수평 운송 장치도 있습니다. 기계 는 "와퍼 '를 자동" 로더' 로부터 광학 경로 를 통하여 처리 실 로 옮기도록 설계 되었다. 웨이퍼는 운송 중에 안전하게 보관되어 정확하고 안전한 처리를 보장합니다. ALPHA 808 SD 확산 로에는 배기 도구도 있습니다. 자산은 공정 챔버에서 증기, 폐기물 가스, 연기 및 입자를 빠르게 제거하도록 설계되었습니다. 이러한 기능을 통해 TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 808 SD 확산 로와 액세서리를 정확한 확산 처리를 위해 안정적이고 효과적인 도구로 만들 수 있습니다.