판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 808SD #293759916
URL이 복사되었습니다!
확대하려면 누르십시오
ID: 293759916
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 1995
Furnace, 8"
Process: HTSIC WDRIV
CIM: SECS
Carrier and wafer transfer unit
ASYST / Pb90C SMIF
Layout type: U / box type
LL Hand
VMU-40-007 Heater
Torch heater
Gases: N2, O2, H2, Trans-LC
Wafer Type: SEMI STD-Notch
Cassette Type: Entergris / XT200-01E
(25) Cassette wafers
(16) Cassettes
Fork type / material: 1+4 / AI208
Fork variable pitch
TS4000Z System controller
Pyro CTL Torch controller
Signal tower colours: G/R/A
Pressure display units: Pressure Mpa
Cabinet exhaust display units: Kpa
M121 Furnace temperature controller
Does not include Quartzware
Gas distribution:
Conventional gas system
Tubing material: Stainless steel
Finish: Electro-polished
FUJIKIN manual and air-operated valve
MFC
Power:
Single phase, 120 VAC
3 Phase, 208 VAC
UPS Input voltage / output voltage: 120/100 V
1995 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 808SD는 집적 회로 (IC) 제작에 사용되는 확산 로와 액세서리입니다. 이 장비는 장치 통합을 위해 도펀트 (dopant) 를 기판으로 확산시키기 위해 반복 가능하고 신뢰할 수있는 열 처리를 제공합니다. TEL Alpha 808SD는 웨이퍼 처리를 제어 및 모니터링 할 수있는 디스플레이를 특징으로합니다. 히드라진 산화 챔버, 평판 석영 반응기 및 배기 플레 넘 (plenum) 을 갖춘 개방형 튜브 디자인이 있습니다. 히드라진 산화 챔버 (hydrazine oxidation chamber) 는 실리콘 및 기타 고온 공정 단계의 고온 산화를 촉진하도록 설계되었습니다. 플랫 플레이트 쿼츠 (flat-plate quartz) 원자로는 높은 처리량을 유지하면서 웨이퍼 전체에 균일 한 온도를 유지하도록 설계되었습니다. 배기 플레 넘 (plenum) 은 수소와 그 성분의 효율적인 배기를 제공하도록 설계되었습니다. 이 시스템에는 최대 온도가 1200 ° C인 2 개의 큰 난방 요소가 장착되어 있습니다. 또한 공정 제어 (process control) 를 특징으로하며 온도, 시간, 유량과 같은 열 공정 매개변수를 정확하게 제어할 수 있습니다. 이는 반복 가능하고 안정적인 웨이퍼 처리를 보장합니다. TOKYO ELECTRON ALPHA 808 SD에는 4 구역 난방 장치가 포함되어 있어 웨이퍼의 빠른 난방 및 빠른 냉각이 가능합니다. 이 기계 에는 자동화 된 "가스 '배달 도구 가 있는데, 이것 은" 챔버' 내부 의 주변 상태 를 제어 하는 데 도움 이 된다. Alpha 808S는 주 챔버 누출에 대한 누출 감지를 제공합니다. 또한 양성 압력 하에서 웨이퍼의 로드 및 언로드를 가능하게하기위한 샘플 로드 포트가 포함되어 있습니다. TOKYO ELECTRON Alpha 808SD는 모듈 식 디자인의 스테인리스 스틸 구조입니다. 스테인리스 강은 유지 보수 및 설치가 쉽습니다. 또한 누출이없는 환경을 보장합니다. Alpha 808SD 에셋에는 샘플 홀더, 냉각수 키트, 탄소로드, 필라멘트 키트 및 실드를 포함한 여러 액세서리가 제공됩니다. 전반적으로 TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 808 SD는 강력하고 신뢰할 수있는 확산 로와 액세서리로, 반복 가능하고 신뢰할 수있는 웨이퍼 확산 처리를 제공합니다. 고품질 IC 제작을 위한 탁월한 선택입니다.
아직 리뷰가 없습니다