판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 808SCN #9097247

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 808SCN은 단일 레벨 직류 (DC) 평면 마그네트론 소스를 특징으로하는 전자 사이클로트론 공명 (ECR) 이온 착상 확산 로입니다. 이 강력 한 도구 는 "알루미늄 '," 실리카', 질화물 등 여러 가지 재료 의 박막 을 온갖 종류 의 전자 용도 에 적재 하는 데 사용 할 수 있다. 양극화 독립 균일 제어 및 에너지 변조를 위해 듀얼 사이드 슬릿 셔터 제어 평면 건 (dual side slit-shutter control planar gun) 이 장착되어 있어 보다 정확하고 효율적인 레이어 증착이 가능합니다. TEL Alpha 808SCN은 모든 ECR 이온 임플란테이션 확산/스퍼터링 시스템의 표준 플랫폼으로, 많은 수의 매개 변수를 완전히 수동 및 자동 제어합니다. 필름 강착 중 기판 온도를 조절하는 데 사용할 수있는 6 구역 온도 제어 시스템 (6-zone temperature control system) 과 확산 과정을 최적화하는 2 개의 추가 압력 제어 영역 (pressure control zone) 이 있습니다. 사용이 간편하지만 강력한 운영자 인터페이스 (operator's interface) 를 통해 모든 작업을 관리할 수 있습니다. 이 기계는 가용 최대 가스압 1000 mbar로 최대 8 인치 (203.2 mm) 웨이퍼를 처리하도록 설계되었습니다. 또한 "가스 '제거 기능 을 통해" 가스' 제거 를 증착실 에 도입 할 수 있으며, 안전 과 성능 을 향상 시킬 수 있다. 그 에 더하여, 중수소 와 질소 를 재단식 증착 과정 에 사용 하여, 특수 한 금속 산화물 을 제조 할 수 있게 해 준다. TOKYO ELECTRON Alpha 808SCN은 매우 정확하고 정확한 도구로서, 고해상도 이온 이식 프로세스를 제공하며, 기존 도구에 비해 우수한 성능을 제공합니다. 또한 자동 (Automatic Infeed )/아웃피드 (Outfeed) 기능을 통해 높은 처리량과 빠른 처리 시간을 허용하는 효율적인 생산 툴로 입증되었습니다. 알파 808SCN (Alpha 808SCN) 은 진공 호환, 격리 된 ECR 단일 레벨 DC 평면 마그네트론 소스 확산 및 스퍼터링 툴로, 모든 확산 및 스퍼터링 요구에 대한 최신 기술 및 프로세스 요구 사항을 충족하도록 설계되었습니다. 고급 기능으로 인해 오늘날 사용 가능한 최고의 확산 로 (diffusion furnace) 중 하나입니다.