판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 808SCE #9097867

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 808SCE Diffusion Furnace는 반도체 제조에서 매우 정확한 웨이퍼 처리를 가능하게하도록 설계된 고성능, 고품질 장비입니다. TEL Alpha 808SCE에는 TEL 특허를 획득한 CX 시리즈 컨트롤러가 장착되어 있어, 즉시 온도 조절 및 균일성을 제공하여 생산성 향상과 높은 품질의 결과를 얻을 수 있습니다. TOKYO ELECTRON Alpha 808SCE는 프로그레시브 퍼니스로드, 저에너지 냉각, 자동 수분 및 가스 밀봉, 빠르고 정확한 온도 및 압력 제어 등 다양한 고급 기능을 제공합니다. 고급 자동 복구 (Auto-Recover) 기능을 사용하면 작업을 쉽게 수행할 수 있으며, 연산자가 프로세스 제어를 신속하게 회복하고 처리 과정에서 적절한 웨이퍼 온도를 유지할 수 있습니다. 또한, 확산 시스템의 스트레스 평등 (stress equalization) 기능은 뒤틀기 모양의 변화를 최소화하여 높은 웨이퍼 수율을 실현하고 품질을 향상시키는 데 도움이됩니다. Alpha 808SCE에는 프로세스 기능을 향상시키기 위해 설계된 여러 액세서리가 포함되어 있습니다. 여기에는 정렬을 최적화하고 균일성을 향상시키는 SRU (Spacer Rotation Unit) 가 포함됩니다. 크롤러 유닛 (Crawler Unit) 을 사용하면 챔버에서 웨이퍼를 쉽게 로드하고 언로드할 수 있으며, 셔틀 유닛 (Shuttle Unit) 을 사용하면 오염 및 프로세스 변화를 최소화하면서 챔버 내에서 쉽게 이동할 수 있습니다. TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 808SCE는 추가 온도 영역, 여분의 압력 센서 및 균일성을 최적화하기 위해 최대 30 개의 추가 존 (zone) 을 포함한 다양한 공장 업그레이드 옵션으로 더욱 향상되었습니다. 업그레이드 가능한 냉각 장치 인 ICP (Improved Cooling Plate) 는 레이어 프로파일을 개선하고 웨이퍼를 냉각시키는 데 소요되는 시간을 크게 단축하여 주기 시간을 단축하도록 설계되었습니다. TEL Alpha 808SCE는 처리 중 최적의 대기를 관리, 모니터링 및 유지하는 EACS (Enhanced Atmosphere Control Machine) 를 갖추고 있습니다. TOKYO ELECTRON Alpha 808SCE (Tokyo ELECTRON Alpha 808SCE) 는 다양한 프로세스 요구 사항을 충족하면서 높은 성능과 신뢰성을 제공하도록 설계되었습니다. Alpha 808SCE 확산 광로 (Diffusion Furnace) 의 첨단 기술과 탄력성을 통해 생산성 향상과 최적의 장치 성능을 보장합니다.