판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 808SC #9227168

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 808SC는 다양한 생산 문제를 처리하도록 설계된 확산 로와 액세서리입니다. TEL Alpha 808SC는 대규모의 4 챔버 핫 월 설계를 통해 반도체, 평면 패널 디스플레이, 태양 전지 등과 같은 다양한 제품을 만들 수 있는 다중 레벨, 고출력, 고효율 프로세스를 지원합니다. TOKYO ELECTRON ALPHA 808 SC는 핫 존 (Hot Zone) 과 칠러 (Chiller) 의 독특한 조합을 열벽을 가로 질러 방해받지 않는 전송을 사용하여 고효율 증착 및 어닐링을위한 매우 균일 한 난방 프로세스를 제공합니다. 프로세스의 균일성은 각 개별 프로세스 포인트를 모니터링하고 조정하여 최대 정확도 (maximum accurity) 로 조정하는 독립 가스, 히터 (heater) 및 온도 조절 시스템을 통해 유지됩니다. 또한 핫 월 (hot wall) 설계는 공정에 대한 추가적인 수준의 보안 및 안전성을 제공합니다. 온벽에는 3 개의 창 안전 시스템 (3 창 안전 시스템) 이 장착되어 있는데, 이는 전면 또는 후면 창의 열 손실을 방지하고, 우발적 스파크나 과열로부터 장비를 보호합니다. 벽의 창문 (The window on the wall) 은 또한 직원들이 용광로에 직접 액세스하지 않고 정확한 온도 판독값을 유지할 수 있도록 도와줍니다. TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 808 SC는 광범위한 프로세스를 위해 설계되었으며, 최적의 성능을 보장하도록 설계된 다양한 추가 기능을 포함합니다. 예를 들어, ALPHA 808 SC에는 전면 및 후면 창의 비활성 가스 액세스가 장착되어 있어 최적의 가스 흐름 및 온도 안정성을 제공합니다. 유지되는 온도 균일성은 실리콘 사전 확산 (silicon pre-diffusion) 과 같은 저온 프로세스에 적합한 선택입니다. TEL ALPHA 808 SC의 제어 시스템은 사용자 작업 다중 단계 프로그래밍을 통해 손쉽게 조절 가능한 프로세스와 (예: 대용량 메모리 용량, 데이터 스토리지를 위한 USB 연결) 기능을 제공합니다. 마지막으로, 오픈 아키텍처 (open architecture) 와 유연성 (flexibility) 은 대규모 생산 시설에 이상적인 선택입니다. 요약하면, 도쿄 전자 알파 808SC (TOKYO ELECTRON Alpha 808SC) 는 광범위한 제품의 안전하고 효율적인 생산 프로세스를 위해 설계된 최첨단 기술을 갖춘 확산 로이자 액세서리입니다. 이 제품은 처리량 (throughput) 및 생산량 증가를 위해 균일하고 정확하게 제어되는 프로세스를 제공하는 신뢰할 수 있는 도구입니다.