판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 808SC #9083659

TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 808SC
ID: 9083659
Vertical LPCVDs Process: SiO, SiN.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 808SC 확산 로는 전자 장치 처리를 위해 설계된 최첨단 제작 도구입니다. TEL Alpha 808SC는 실리콘 및 기타 재료의 증기 증착을 가능하게하는 단일 웨이퍼 수직 튜브 타입 퍼니스입니다. 용광로의 작동 온도는 최대 섭씨 1,000 도이며, 고품질 열 안정성과 균일성을 제공합니다. TOKYO ELECTRON ALPHA 808 SC의 컴팩트 한 디자인은 고급 장치 생산, 제조, 반도체 연구, 교육 목적 등 다양한 응용 분야에 적합합니다. ALPHA 808 SC 퍼니스에는 2 개의 직접 구동 동력 리프트 스테이지가 있으며, 기판 및 웨이퍼 취급을위한 뛰어난 속도와 정밀도를 제공합니다. 각 스테이지는 시스템 앞면에 있는 터치 스크린 패널 (touch-screen panel) 을 통해 독립적으로 제어됩니다. 또한 제어판에는 손쉬운 작동 및 오류 수정 기능을 위해 그래픽 사용자 인터페이스 (Graphic User Interface) 가 장착된 통합 컨트롤러가 있습니다. 이 장비에는 자동화된 통풍구 (vent system) 도 포함되어 있는데, 이 과정에서 사용되는 화학 물질을 안전하고 효율적으로 대피 할 수 있습니다. TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 808 SC에는 2 개의 IGSL (Internal Gas Supply Line) 이 장착되어 공정 중에 최대 3 개의 다른 가스가 도입 될 수 있습니다. 내장 가스 믹서 (gas mixer) 는 튜브 전체에 균일 한 가스 분포를 보장하여 공정 균일성을 높이고 수율을 향상시킵니다. 효율성을 극대화하기 위해 장치에는 자동 압력 (automated pressure) 및 온도 조절 기계 (temperature control machine) 가 있으며, 각 응용 프로그램의 프로세스 매개변수를 독립적으로 조정할 수 있습니다. 도쿄 전자 알파 808SC (TOKYO ELECTRON Alpha 808SC) 는 고급 웨이퍼 전송 도구를 제공하여 기판을 안전하고 효율적으로 적재 및 언로드할 수 있습니다. 전송 자산은 최대 6 인치 직경의 다양한 웨이퍼 크기를 수용 할 수 있습니다. 이 모델은 여러 로봇 모델과 호환되며, 확장 프로세스 중에도 고속 (high-speed loading) 및 웨이퍼 언로드가 가능합니다. 알파 808SC (Alpha 808SC) 는 가장 까다로운 제작 및 연구 요구를 충족하도록 설계된 비용 효율적이고 안정적인 용광로입니다. 첨단 기능과 제어 (Control) 기능을 통해 다양한 전자 제품과 반도체를 생산할 수 있습니다. TEL ALPHA 808 SC를 사용하면 시간과 비용을 절약할 수 있으며, 우수한 성능과 품질 결과를 제공합니다.
아직 리뷰가 없습니다