판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 808SC #9068394

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 808SC는 높은 처리량 웨이퍼 처리 요구를 위해 설계된 확산 로와 함께 제공되는 액세서리입니다. 이 모델은 80 리터의 챔버 부피와 최대 온도 1250 ° C를 특징으로합니다. 용광로는 최고의 노치 성능을 자랑하며, 안정적이고 정밀한 온도 조절, 빠른 온도 복구, 빠른 가열 속도를 통해 웨이퍼 균일성을 제공합니다. 이 퍼니스에는 프로세스 모니터링을 용이하게 하는 통합 프로세스 모니터 (process monitor) 가 있으며, 환경 상태를 유지하는 데 도움이됩니다. 또한, 사용자는 원격 위치에서 프로세스를 제어 할 수 있도록 원격 제어 기능 (remote control function) 을 갖춘 프로그래밍 가능한 컨트롤러 (programmable controller) 를 갖추고 있습니다. 또한 컨트롤러에는 사용자에게 친숙한 그래픽 인터페이스 (Graphical Interface) 가 있으며, 다양한 주변 장치를 연결하여 개별 처리 요구 사항을 용이하게 할 수 있습니다. TEL Alpha 808SC에는 효율적인 통합 제어 시스템을 제공하는 고급 CSA (Control Equipment Architecture) 도 있습니다. 이 장치는 시뮬레이션 제어 (Simulation Control) 모드를 통해 사용자가 세계 어디에서나 프로세스를 제어 할 수 있습니다. 이 기계는 또한 여러 레시피, 비동기식 레시피, 프로세스 매개변수 간 전환 등을 실시간으로 관리할 수 있습니다. 확산 로는 쉽게 설치하고 유지 관리할 수 있도록 설계되었으며, 유지 관리 시간을 단축하는 자동 청소 (auto-cleaning) 툴을 제공합니다. 자산에는 기판의 로드 및 언로드를 용이하게하기 위해 통합 로드 록 (loadlock) 이 장착되어 있습니다. TOKYO ELECTRON ALPHA 808 SC에는 CFRP (Carbon Fibre Reinforced Polymer) 챔버 쉘이 있으며, 이는 높은 온도에 노출 될 때에도 챔버가 그 형태를 유지하도록 보장합니다. TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 808 SC는 프로세스 안정성과 안전을 보장하는 고급 안전 기능으로 설계되었습니다. 이 모델에는 자동화된 냉각 장치 (Automated Cooling Equipment) 가 있어 잠재적인 위험 요소를 줄이고 프로세스 무결성을 보장하는 다양한 프로세스 보호 시스템 (Process Protection System) 을 제공합니다. 또한 TEL ALPHA 808 SC를 사용자 정의할 수 있습니다. 액세서리 (옵션) 를 사용하면 특화된 처리 요구에 맞게 시스템을 업그레이드할 수 있습니다. 이러한 액세서리에는 추가 로드 잠금 장치, 쿼츠 케이스, QCM 센서 및 쿼츠 웨이퍼 캐리어/진공 소스가 포함됩니다. 이 장치는 다른 TEL 시스템과 통합되어 고객에게 완벽한 웨이퍼 처리 (wafer processing) 솔루션을 제공할 수도 있습니다.