판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 808SC #9022617

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TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 808SC
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ID: 9022617
Diffusion furnaces, 1995 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 808SC는 제조 및 연구 응용 분야에 적합한 고급 확산 로와 액세서리입니다. 이 트리플 존로 (triple-zone furnace) 는 최고 로더 디자인을 사용하여 대기 응용 프로그램에서 최대 1800 ° C 및 비활성 대기 구성을 제공합니다. TEL Alpha 808SC는 Neutron 또는 Laser doping, 현장 산화 및 annealing과 같은 고온 열 확산 프로세스를 위해 특별히 설계되었습니다. 퍼니스는 챔버 내부에 쿼츠 터치 센서 (quartz touch sensor) 를 장착하여 고성능 PID 제어 로직 (control logic) 에 의해 부드럽게 제어되는 온도를 정확하게 측정합니다. 자가 진단 (Self-diagnostic) 기능은 시스템 오류가 신속하게 감지되도록 보드 상태를 모니터링합니다. TOKYO ELECTRON ALPHA 808 SC는 또한 터치 패널 제어 시스템을 사용하여 매개 변수 입력을 단순화하고 변경 사항을 실시간으로 표시합니다. 알파 808SC (Alpha 808SC) 에는 자동 도펀트 정렬기 (dopant sorter for handling and positioning wafer), 오븐 매개변수 설정용 평면 패널 디스플레이, 원격 제어를 위한 무선 통신 기능 등 다양한 액세서리가 제공됩니다. 용광로는 작동 중 안전 향상을 위해 멀티 존 (multi-zone) 증기 모니터를 장착 할 수도 있습니다. 또한, TOKYO ELECTRON Alpha 808SC는 다중 챔버 작동을위한 더 큰 시스템의 일부로 사용될 수 있습니다. TEL ALPHA 808 SC는 고급 열 확산 프로세스에 이상적인 도구입니다. 다용도 액세서리와 함께 정확하고 제어 가능한 온도 및 챔버 조건을 제공합니다. 이는 작동 중 뛰어난 열적 균일성과 안정성을 보장하고, 일관성 있고, 품질이 뛰어난 결과를 제공합니다. TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 808 SC는 효율성과 신뢰성을 갖춘 연구 및 제조 프로세스를 수행합니다.
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