판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 808SC #293774601

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 808SC는 고급 반도체 처리 응용 프로그램을 위해 설계된 최첨단 확산 용광로 장비입니다. 이 다목적 시스템은 확산 공정 (diffusion process) 을 정확하게 제어 할 수있는 다양한 기능을 갖추고 있으며, 다양한 기판 재료에 걸쳐 고품질의 균일 한 필름 (film) 성장이 가능합니다. TEL Alpha 808SC는 최대 300mm 직경의 웨이퍼 크기를 수용 할 수있는 수평, 단일 웨이퍼 확산 퍼니스입니다. 이 장치는 산화, 어닐링 및 화학 증기 증착 (CVD) 을 포함한 다양한 고온 과정을 수행 할 수 있습니다. 이러한 유연성을 통해 TOKYO ELECTRON ALPHA 808 SC는 고급 CMOS 장치 제조에서 MEMS 및 광전자 장치 제조에 이르기까지 다양한 응용 분야에 이상적입니다. Alpha 808SC의 주요 기능 중 하나는 고급 온도 조절 기계입니다. 이 도구에는 웨이퍼 (wafer) 표면을 가로 질러 정확한 온도 프로파일링이 가능한 여러 가열 영역이 있습니다. 이 제어 수준 (level of control) 은 웨이퍼 전체의 온도 분포가 균일하여 일관된 필름 성장으로 이어지며 필름 두께와 도펀트 농도의 변화를 최소화합니다. 온도 조절 외에도 TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 808 SC에는 프로세스 대기를 정확하게 제어 할 수있는 포괄적 인 가스 전달 자산이 있습니다. 이 모델은 다양한 프로세스 가스 (process gase) 와 전구체를 제공 할 수 있으며, 다양한 화학 성분을 가진 다양한 박막 (thin film) 을 증착 할 수 있습니다. 이 기능은 필름 특성을 굴절률 (refractive index), 전기 전도도 (electrical conductivity), 밴드 간격 (bandgap) 과 같은 특정 장치 요구 사항에 맞게 조정하는 데 필수적입니다. TEL ALPHA 808 SC는 또한 처리량을 고려하여 설계되었으며, 시스템 가동 시간과 생산성을 극대화하는 고속 웨이퍼 (Wafer) 전송 장비를 갖추고 있습니다. 이 장치는 레시피 (Recipe) 기반 운영 및 고급 프로세스 모니터링 기능을 통해 완벽하게 자동화되어 실시간 피드백 및 제어가 가능합니다. 이 자동화는 인체 오류의 위험을 줄일 뿐만 아니라, 프로세스 반복성 (repositivity) 과 재생성 (reproducility) 을 최적으로 허용합니다. 또한, TOKYO ELECTRON ALPHA 808SC (TOKYO ELECTRON Alpha 808SC) 에는 운영자와 장비 모두를 보호하기 위해 다양한 안전 기능이 장착되어 있습니다. 이 기계는 안전하지 않은 작동 조건을 방지하고 처리 중에 발생할 수 있는 모든 문제를 경고하는 여러 개의 인터 록 (interlock) 과 경보 (alarm) 로 설계되었습니다. 안전에 초점을 맞춘 '안전' 은 인력을 보호할 뿐만 아니라 '가동 중지 시간' 을 방지하는 데 도움이 됩니다. 전반적으로, ALPHA 808 SC는 정밀한 제어, 높은 처리량 및 고급 안전 기능을 제공하는 다재다능하고 안정적인 확산 용광로 자산입니다. 고급 온도 조절, 종합 가스 전달 모델 및 자동 작동을 갖춘 TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 808SC는 고품질 필름 성장과 엄격한 프로세스 제어가 필요한 다양한 반도체 처리 어플리케이션에 적합합니다.