판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 808S #9058014

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 808S 확산 로는 박막 증착을위한 고급 고사양 도구입니다. 이 "에너지 '는 주위 와 수직 으로 가열" 소오스' 를 배열 하여 균일 한 열 분배 와 보다 효율적 인 박막 증착 을 가능 하게 한다. 단일 용광로는 100 ° C ~ 1100 ° C의 넓은 온도 범위를 제공합니다. 정확한 온도 조절은이 용광로를 고급 반도체 (Advanced Semiconductor) 와 태양 광 발전 (Photovoltaics) 과 같은 많은 까다로운 박막 응용 분야에 적합합니다. 이 용광로 (furnace) 는 또한 엄격한 안전 표준을 충족하도록 설계되었으며, 고르지 않은 온도 (uneven temper) 와 같은 잠재적 유지 보수 문제가 감지 될 때 기술자에게 경고하는 경고가 표시됩니다. 또한, 주택은 잠재적 인 위험 배출으로부터 인원을 보호하기 위해 설계되었으며, 세라믹 리본 난방 요소는 에너지 효율을 최적화하도록 설계되었습니다. TEL 알파 808S 확산 로는 이동식 (removable) 공정 챔버 (process chamber) 로 설계되어 전체 유닛을 이동시키는 번거로없이 서비스 할 수 있습니다. 유전체 코일은 최상의 공정 결과를 위해 균일 한 가열을 제공합니다. 이 챔버 (chamber) 에는 수평 리프팅 메커니즘이 있으며, 이는 정확한 정렬을 보장하며, 작은 기판과 큰 기판을 모두 처리할 수있는 유연성을 제공합니다. TOKYO ELECTRON Alpha 808S에는 다양한 추가 액세서리도 포함되어 있습니다. 예 를 들어, 자동화 된 기판 처리 "시스템 '을 추가 할 수 있어서, 효율적 이고 정확 한 작업 부분 을 전달 할 수 있다. 냉각 가스 시스템은 냉각 과정에서 균일성을 유지하는 데 도움이되고, 흑연 열전대 홀더 (graphite-thermocouple holder) 는 더 큰 기질의 온도 균일성을 향상시킵니다. 통합된 데이터 로깅 시스템 (Data Logging System) 이 전체 제작 프로세스를 모니터링하면서 프로세스 추적도 용이합니다. 전반적으로, 알파 808S 확산 로는 고급 난방 기술, 정확한 온도 조절, 추가 액세서리를 갖춘 박막 증착을위한 강력한 도구입니다. 그 "에너지 '의 효율적 인 공정, 탁월 한 통일성, 그리고" 안전' 은 대용량 의 고급 반도체 생산 에 이상적 인 선택 이 된다.