판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 808S #9026276
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TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 808S는 다양한 응용 프로그램 및 프로세스에 사용할 수있는 확산 용광로 및 액세서리 장비입니다. 실험실· 대학이 반도체· 기타 기판재료에 대한 확산 공정을 할 수 있는 강력하고 신뢰할 수 있는 도구다. TEL Alpha 808S 는 최대 8 개의 가열 존 (zone) 을 갖춘 자동화된 수직 통합 플랫폼을 제공하며, 이 플랫폼은 표준 확산 프로세스와 특수 프로세스를 모두 지원합니다. 이 시스템은 또한 다양한 기능을 제공하여 프로세스 변화를 최소화하고 일관된 결과를 얻을 수 있습니다 (영문). 여기에는 온도, 가스 흐름을 정확하게 조절할 수있는 디지털 제어 장치 (Digital Control Unit) 와 정확한 프로세스 제어를 위한 스탠드 웨이브 모니터 (Standard Wave Monitor) 및 다중 영역 포트 제어 (Multi-Zone Port Control) 가 포함됩니다. 또한, TOKYO ELECTRON Alpha 808S에는 확산 프로세스를 모니터링, 분석, 제어하는 다양한 기능을 제공하는 고급 소프트웨어 패키지가 제공됩니다. 따라서 중앙 집중식 위치에서 프로세스를 효과적으로 감독 및 변경할 수 있습니다. 이 패키지는 또한 완료된 프로세스에 대한 포괄적인 분석을 제공하며, 온도, 용광로 압력, 프로세스 기록 (process history) 등의 데이터를 제공하여 프로세스 성능을 최적화하고 신속한 문제 해결을 지원합니다. 이 머신 플랫폼은 굴곡에 저항하고, 정밀 온도 조절, 빠른 예열 및 냉각 시간, 고성능 작동을 가능하게 합니다. 그것 은 "세라믹 '섬유 절연 도구 로 만들어졌는데, 이것 은" 에너지' 소모 를 줄이고 과열 로 인한 자산 및 재료 의 손상 을 방지 하는 데 도움 이 된다. 알파 808S 모델은 또한 전력을 손상시키지 않고 실험실 공간 요구 사항을 충족시키는 컴팩트하게 설계되었습니다. 더 짧은 병렬 챔버 (parallel chamber) 설계는 바닥 공간을 보존하는 데 도움이되며, 전체 장비의 무게는 425kg에 불과하여 다른 확산 시스템에 비해 이동하고 저장하기 쉽습니다. TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 808S (TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 808S) 는 안전하고 안정적이며, 높은 성능을 통해 실험실과 대학이 확산 프로세스를 수행하는 것을 선호합니다. 고급 자동화, 번거로운 유지 보수, 향상된 사용자 제어를 위한 직관적인 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 를 제공합니다. 첨단 기능과 신뢰할 수 있는 결과를 통해 확산 (diffusion) 애플리케이션에 적합한 솔루션을 선택할 수 있습니다.
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