판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 808S #293775046

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 808S는 다양한 웨이퍼 확산 프로세스 요구를 충족하도록 설계된 강력하고 고급 확산 로와 액세서리 패키지입니다. 이 장비는 완전하게 자동화된 듀얼 존 (Dual-Zone) 설계를 통해 빠르고 균일한 난방을 가능하게 하며, 사용자에게 정확한 온도 제어를 제공합니다. TEL Alpha 808S는 고밀도의 초두께 흑연 가열 요소를 사용하여 최대 800 ° C 및 800 ° C/+ 10 ° C의 영역을 만듭니다. 이 이중 구역 난방 요소는 두꺼운 스테인레스 스틸 (stainless steel) 로 덮여 있으며, 우수한 균일성 패턴으로 일관되고 빠른 온도 변화를 제공하기 위해 완벽하게 제작되었습니다. 프로세스 제어에 관해서는, 이 시스템은 4 자리 LED가 있는 마이크로프로세서 제어 쿼츠 클럭 (quartz clock) 을 갖추고 있어 온도 제어가 정확하고 안정적입니다. TOKYO ELECTRON Alpha 808S는 RTC (Regulation Temperature Control) 디지털 타이머와 함께 제공되며, 이를 통해 사용자는 확산 프로세스의 원하는 온도와 지속 시간을 설정할 수 있습니다. 재료 전달에 관하여이 장치에는 멀티 존 점성 (multi-zone) 점성 (viscous) 유동 도가니 (crucible) 가 장착되어 있으며, 이는 확산 소스 재료를 보호 쿼츠 또는 흑연 히터로 정확하게 제어 할 수 있습니다. 또한, 이 기계에는 직관적이고 사용자 친화적 인 PC (Personal Computer) 제어 도구가 포함되어 있으며, 이 자산은 웨이퍼 확산 프로세스에서 이상적인 도구로 렌더링됩니다. 알파 808S (Alpha 808S) 는 다용도로 다양하며, 쇼어 헤드, 스탠드 오프 링 및 쉴드 시스템을 포함한 다양한 호환 공정 챔버를 제공합니다. 또한, 이 확산 로는 소형에서 초대형 웨이퍼에 이르기까지 다양한 크기의 웨이퍼를 수용 할 수 있습니다. TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 808S에는 보호 쿼츠 및 흑연 히터, 열 차단, 온도 센서 인터럽트, 연동 시스템 및 자체 테스트 기능과 같은 안전을 촉진하도록 설계된 몇 가지 기능도 있습니다. 전반적으로 TEL Alpha 808S 확산 로와 액세서리 패키지는 빠르고 균일 한 웨이퍼 확산 프로세스를 보장하도록 설계된 안정적이고 강력한 도구입니다. 다지대 점성 흐름 도가니, 고밀도 두께의 흑연 난방 요소, 직관적인 PC 모델이이 장비가 소규모 및 대규모 작업에 이상적입니다. 사용자 친화적 인 설계, 안전 기능, 강력한 프로세스 제어 기능을 갖춘 TOKYO ELECTRON Alpha 808S 확산 로는 웨이퍼 확산 프로세스에 적합한 시스템입니다.