판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 808S #293765066

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 808S 확산 퍼니스는 반도체 프로세싱을위한 고급 도구입니다. 고급 공기 부동 PID 온도 조절 장비와 다중 계층 쿼츠 오븐 (multi-layered quartz oven) 을 활용하여 일관성 있는 정밀도 및 처리량을 제공하는 독보적인 설계를 통해 최적의 성능을 구현합니다. 액세서리 앰풀 인젝터 및 열 웨이퍼 캐리어와 함께 사용하면 TEL 알파 808S (Alpha 808S) 는 사이클 시간을 크게 줄여 온도 조절을 개선하고, 손상될 가능성이 높은 화상 상황으로부터 막힌 웨이퍼를 복구 할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON Alpha 808S는 반도체, MEMS 및 마이크로 전자 장치에 사용하도록 설계되었습니다. 강력한 3.2kW 단상 전원 공급 장치 (최대 1300 ° C의 높은 작동 온도 달성) 로 구동됩니다. 그것은 수많은 다른 구성 요소들 중에서 헤르메틱 밀봉 된 스테인리스 스틸 인클로저, 분말 코팅 된 알루미늄 합금 프레임 및 내화성 석영 내부 튜브로 구성됩니다. 용광로의 온도 및 활동은 다중 영역 온도 제어 PID 온도 제어 시스템 (multi-zone tempering-controlled PID temperature control system) 을 사용하여 모니터링되고 관리되며, 전체 주기 동안 정확한 웨이퍼 온도 제어가 가능합니다. 우수한 질소 (N2) 순도를 위해 Alpha 808S는 고체 필터 (solid-state filter) 를 사용하여 질소를 지속적으로 정제하는 고성능 고급형 정화 장치를 사용합니다. 이 기계는 용광로가 고온에서 실행 중일 때에도 ppm 이하의 질소 전달을 가능하게합니다. 즉, 공정은 여전히 높은 반복성과 일관성으로 유지 될 수 있습니다. TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 808S는 또한 프로세스 제어 수준을 확장하기 위해 다양한 액세서리 제품을 지원합니다. 여기에는 ampoule injector 및 열 웨이퍼 캐리어 (thermal wafer carrier) 가 포함되며, 용광로에서 다른 공정 도구로 정확하고, 효율적이며 안전한 웨이퍼 이동이 가능합니다. 금속 전구체 를 함유 한 "암푸울 '은 더욱 정확 한 적층 및 세부적 인 조절 을 위하여 용광로 에 쉽게 전달 될 수 있다. 이것들은 TEL Alpha 808S를 고급 반도체 소자 제조 작업을위한 최고의 선택으로 만드는 몇 가지 기능입니다. 탁월한 설계는 균일한 온도 및 활성을 보장하는 한편, 반복 가능한 결과와 일관되게 높은 품질의 성능을 제공합니다. 액세서리 제품을 통해 TOKYO ELECTRON ALPHA 808S (TOKYO ELECTRON Alpha 808S) 는 다양한 제조 요구 사항에 걸쳐 전체 프로세스를 처리할 수 있으며, 탁월한 정확도로 가장 안전하고 안정적인 작업을 완료할 수 있습니다.