판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 808 #9394399

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 808은 반도체 산업에서 사용하도록 설계된 고급 확산 로와 액세서리입니다. 다양한 반도체 소자 생산에서 고온 어닐링 (annealing) 프로세스에 이상적입니다. 안정성, 사용 편의성, 정교한 자동화 기능이 결합된 설계로, 효율성과 제품의 생산성을 극대화할 수 있습니다. 이 퍼니스에는 디지털 클로즈드 루프 피드백 시스템 (closed-loop feedback system) 을 통해 뛰어난 열 성능을 제공하는 컴팩트하고 견고한 디자인이 있습니다. 다중 영역 온도 컨트롤러 (Multi-Zone Temperon Controller) 는 로드 챔버의 온도를 신중하게 조절하며 각 영역마다 독립적으로 제어합니다. 이것 은 전체 "챔버 '전체 의 균일 한 온도 를 보장 해 주며," 어닐링' 과정 을 최적화 하기 위하여 미리 "프로그램 '할 수 있다. 또한, 챔버 내에 설치된 고정밀 온도 코플은 정확한 온도 모니터링 및 피드백을 제공합니다. 용광로는 기본 어닐링 (annealing) 에서 산화 (oxidation) 또는 질화 (nitridation) 에 이르기까지 다양한 복잡한 어닐링 프로세스에 적합합니다. 용광로 본체에 직접 장착 된 고성능 가스 전달 시스템 (gas delivery system) 덕분에 오염 물질 및 기타 원치 않는 물질을 제거 할 수도 있습니다. 이 시스템은 통합 소프트웨어 (Integrated Software) 를 통해 수동 또는 프로그래밍 방식으로 액세스할 수 있으며, 이를 통해 운영자는 쉽게 매개변수를 조정하여 프로세스를 최적화할 수 있습니다. TEL Alpha 808의 표준 기능에는 가열 챔버에 플라스마를 주입하는 데 사용되는 E-off 무선 주파수 (RF) 사전 제단 소스와 전원 공급 장치에 내장 된 RF-tunable 매칭 브리지가 포함됩니다. 이렇게 하면 전달된 전원이 지속적인 임피던스를 가지며 수동 주파수 (manual frequency) 를 조정할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON Alpha 808에는 인원과 장비의 안전을 보장하기 위해 고급 안전 기능이 있습니다. 적재실에는 챔버가 가열되면 자동으로 잠기는 온도보호문 (integrated safety door) 이 있으며, 온도 제한 (temperature limit) 과 압력 스위치 장치 (pressure switch device) 가 필요한 보호 기능을 제공합니다. 알파 808 (Alpha 808) 은 반도체 업계에 맞춘 종합적인 솔루션 제품군의 하나로, 고객이 시장에서 가장 진보적인 제품과 서비스를 이용할 수 있도록 합니다.