판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 808 #293589210

ID: 293589210
Nitride furnace Transformer included.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 808 확산 로는 산업 열 처리 요구 사항을위한 첨단 솔루션입니다. 최첨단 제품으로, 다양한 전문 프로세스를 수행할 수 있는 효율적이고 효과적인 플랫폼을 제공합니다. 그것은 실리콘 질화물 적재 포트가있는 흑연 벨 항아리와 석영 보트를 포함합니다. 또한 추가 공정을위한 초고진공 (UHV) 보유 챔버, 진공 처리 챔버 및 비활성 가스 분사 장비가 있습니다. TEL Alpha 808은 프로그래밍 가능한 용광로이며 자동화된 작동을 위해 강력한 PLC (Programmable Logic Controller) 를 사용합니다. 온도, 전류, 전압, 가스 흐름, 펄스 시간 등과 같은 여러 프로그래밍 가능한 매개 변수가 특징입니다. 또한 TOKYO ELECTRON Alpha 808은 수동 작동과 챔버 조건의 정확한 시각화를 위해 사용하기 쉬운 전면 패널 인터페이스를 갖추고 있습니다. 이 용광로는 고급 열 단열재 (thermal insulation), 고급 냉각 시스템 (advanced cooling system) 및 정확한 온도 조절을 통해 안정적이고 빠른 열 처리를 위해 설계되었습니다. 최대 온도 범위가 RT ~ 1000 ° C인 총 8 개의 난방 모듈을 사용합니다. 난방 모듈은 고어 텍스 (Gore-Tex) 세라믹 재료로 구성되어 있으며, 용광로는 빠른 냉각이나 고르지 않은 난방없이 정확한 온도를 유지할 수 있습니다. 또한, 확산 전 난방 챔버가 알파 808 (Alpha 808) 과 함께 설치되어 별도의 히터가 필요하지 않고도 보다 빠르고 안정적인 재료 확산을 가능하게한다. TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 808에는 다양한 처리 요구를 수용하기 위해 많은 액세서리가 제공됩니다. 여기에는 핫 와이어 박막 증착 장치, 저압 화학 증기 증착 (LPCVD) 기계, 증발기 소스를위한 수냉식, 소스 재료 운송을위한 석영 원자로 및 종기 및 초고 진공실 용 커버가 포함됩니다. 또한 TEL 알파 808 (Alpha 808) 에는 기술자가 안전 거리에서 용광로 상태를 모니터링할 수있는 원격 모니터링 툴이 있습니다. 또한 온도가 1000 ° C 이상이거나 챔버 압력이 특정 수준 이하로 떨어지면 퍼니스를 차단하는 독립적 인 안전 자산 (Independent Safety Asset) 도 포함됩니다. TOKYO ELECTRON Alpha 808 (TOKYO ELECTRON Alpha 808) 의 모든 고급 기능은 모든 연구 또는 산업 환경에 귀중한 자산으로, 오염 또는 손상 위험이 최소화되어 섬세한 물질의 신뢰성 있고 신속한 열 처리를 제공합니다.
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