판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 805SCN #9215213

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 805SCN (TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 805SCN) 은 고성능 확산 용광로 및 액세서리 패키지로, 사용자에게 시설의 확산 요구에 대한 산업 강도 솔루션을 제공합니다. 모든 확산 (diffusion) 프로세스를 사용하기 쉽고 효율적인 하나의 패키지로 수행할 수 있도록 설계되었습니다. 여기에는 고온 열 및 화학 과정이 모두 포함됩니다. 용광로 자체는 스테인레스 스틸 (stainless steel) 로 만들어졌으며, 상황에 관계없이 사용자에게 필요한 성능을 제공 할 수있는 여러 가지 기능을 갖추고 있습니다. 가열 영역은 최대 1200 ° C의 온도를 제공하는 반면, 냉각 영역은 최소 40 ° C 전이를 보장합니다. 용광로에는 또한 민감성 컴포넌트의 가열 (heat up) 을 방지하는 난방 방지 존 (anti-heating zone) 이 있어 추가 유연성을 제공합니다. 확산 과정에는 두 가지 단계가 포함됩니다. 확산 할 재료의 얇은 층 (thin layer) 과 증착실 (deposition chamber) 의 내부 가열 (internal heating) 을 적용하여 필요한 확산 과정을 활성화시킵니다. 805SCN에는 뛰어난 균일성과 대형 냉각 구역을위한 대형 흑연 서셉터 (susceptor) 가있는 통합 확산 챔버 로가 있습니다. 내장형 디지털 컨트롤러는 정확한 온도 및 시간 제어 (time control) 기능을 통해 매우 특정한 매개변수를 설정할 수 있습니다. 805SCN의 확산 액세서리 패키지에는 여러 개의 도가니, 서셉터, 펌프, 전송 시스템 및 로딩 시스템이 포함되어 있으며, 각각은 최고 품질의 성능을 보장하기 위해 상호 교환 할 수 있습니다. 여기에는 증발원 (evaporation source) 과 조절기 (regulator) 가 포함되며 열 안정성을 유지하면서 증착 과정을 정확하게 제어 할 수 있습니다. 805SCN에는 광범위한 프로세스 모니터링 도구가 포함되어 있습니다. 정확한 온도 측정 및 재료 분석을위한 진공 게이지, 열전대, Lambda 프로브 및 기타 센서가 있습니다. 또한, 내부 환경의 균일성은 최적의 결과를 위해 통합 가스 분석기 (integrated gas analyzer) 및 압력 조절기 (pressure regulator) 와 함께 유지됩니다. 요약하자면, TEL Alpha 805SCN은 모든 확산 프로세스를 손쉽고 효율적으로 수행할 수 있도록 설계된 고성능 확산 로와 액세서리 패키지입니다. 정밀한 온도 및 시간 조절을위한 통합 확산 챔버 (diffusion chamber), 대형 흑연 서셉터 (graphite susceptor) 및 디지털 컨트롤러 (digital controller) 와 다양한 모니터링 및 액세서리가 있습니다. 수많은 확산 애플리케이션을위한 이상적인 장비입니다.