판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 805SC #293622204

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 805SC (TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 805SC) 는 다양한 프로세스에 대해 정밀한 열 제어 및 광범위한 온도 범위를 제공하는 고품질 확산 로입니다. 장치 제조 및 기타 관련 산업을위한 귀중한 도구입니다. TEL Alpha 805SC는 가장 까다로운 프로세스의 요구를 충족하도록 설계되었습니다. 균일성과 반복성이 높은 균일하고 제어 된 온도 프로파일을 생성 할 수 있습니다. 큰 챔버 크기는 여러 기판을 동시에 처리 할 수 있습니다. 또한, 최대 950 ° C의 ± 2 ° C 정밀도로 큰 챔버 부피와 빠른 온도는 중요한 응용 프로그램에 대한 일관된 결과를 보장합니다. TOKYO ELECTRON Alpha 805SC는 전체 웨이퍼 표면에서 균일 한 온도를 유지하기 위해 낮은 열 기울기를 특징으로합니다. 챔버 온도는 3 개의 온도 영역에서 모니터링되고 유지되어 균일 한 가열을 보장합니다. 또한 웨이퍼 매핑 시스템과의 연결을 지원하는 멀티 포인트 퍼니스 인터페이스 (Multi-Point Furnace Interface) 를 통해 최대 28 개의 열전대 사이트를 모니터링 및 제어 할 수 있습니다. 알파 805SC (Alpha 805SC) 에는 운영자 및 시스템 안전을 보장하기 위해 질소 제거 및 수냉식 등 여러 안전 시스템이 장착되어 있습니다. 또한, 가동 시간을 보장하기 위해 유지 보수 (maintenance) 및 무정비 (maintenance-free) 가열 요소를 쉽게 액세스할 수 있도록 설계되었습니다. TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 805SC는 광범위한 어플리케이션을 갖춘 고성능, 안정성, 고도의 확산 로입니다. 반도체 장치 제작 및 LPCVD, ALD, RTP 및 HTM과 같은 고급 프로세스에 적합한 솔루션입니다. 정밀 온도 조절, 넓은 온도 범위, 웨이퍼 (wafer) 표면의 균일성이 높아 고급 프로세스에 이상적입니다.