판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 805DN #293622218

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 805DN은 확장 로와 액세서리 패키지로, 마이크로 칩 생산을 위해 특별히 설계되었습니다. 이 패키지는 확산 용광로, 배기 장비 및 가열 된 주변 공기 공급 (embient air supply) 의 조합으로, 정밀 마이크로 칩 기판에서 증착, 산화, 어닐링 및 에칭과 같은 높은 정밀 프로세스를 수행 할 수 있습니다. 확산 퍼니스는 수직 쿼츠 튜브 (vertical quartz tube) 와 상단 로더 (top loader) 를 특징으로하며 800 ~ 1250 ° C의 온도 범위에서 우수한 웨이퍼 균일성을 제공합니다. 강력한 가스 혼합 시스템 (gas mixing system) 과 높은 균일성은 필름, 트렌치 및 간격 에칭을 단단히 제어하는 반면, 히터 모듈 (heater module) 및 쿼츠 튜브 (quartz tube) 의 에지 단열은 칩 가장자리 근처의 재료의 산화를 방지합니다. 배기 장치 에는 강력 한 뿌리 송풍기, 단단 "스크러버 ', 먼지 제거" 필터' 가 포함 되어 있어 가공 "가스 ', 미립자, 먼지 및 위험 물질 을 신속 하고 효율적 으로 제거 할 수 있다. 가열된 앰비언트 에어 (ambient-air) 공급을 통해 사용자는 최적의 칩 성능을 위해 필요한 환경을 신속하게 만들 수 있습니다. TEL Alpha 805DN은 온도, 압력, 가스 입력에 대한 사용자 친화적 인 터치 스크린 컨트롤을 갖춘 세련된 컨트롤 콘솔에서 작동합니다. 반복 가능한 (repeatable) 프로세스 실행을 위해 시스템을 프로그래밍할 수도 있으며, 따라서 사용자는 일관성 있는 고품질 제품을 만들 수 있습니다. 또한 임베디드 센서를 사용하면 온도, 압력, 처리 시간을 모니터링할 수 있으며, 매번 정확하고 안정적인 성능을 얻을 수 있습니다. TOKYO ELECTRON Alpha 805DN은 높은 처리량 생산 라인을 위해 설계되었으며, 정교한 PID 컨트롤러와 실시간 프로세스 로그, 과열 및 과열 최소화를 위한 보호 메커니즘, 자동 연동 메커니즘을 갖춘 도어 (door) 등 다양한 안전 기능을 갖추고 있습니다. 이 패키지는 가장 까다로운 확산 프로세스에 적합하며, 대용량 (high-volume) 생산 솔루션입니다.