판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 805D #9361888

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 805D는 광범위한 장치를 제작할 수 있도록 설계된 확산 로와 액세서리입니다. 고로 챔버 (furnace chamber) 에서 열의 정밀 제어 및 균일 한 분배를 제공하는 신뢰할 수 있지만 강력한 구성 요소를 갖추고 있으며, 결국 보다 일관된 장치 성능으로 이어집니다. TEL Alpha 805D는 400 ° C ~ 800 ° C의 범위 내에서 재료 또는 도펀트를 확산시키기위한 저온 로입니다. 최대 압력 25Pa 인 이 용광로는 저압 및 고압 처리에 유연성을 제공합니다. 내부 챔버 (inner chamber) 는 스테인레스 스틸 (stainless steel) 로 만들어졌으며 전체 용광로 영역에 균일 한 가열을 제공하도록 설계되었습니다. 이 용광로 (furnace) 모델은 흑연 에너지기 (energizer) 를 사용하는데, 가동 중 안정적이고 균일 한 열 분배를 제공하면서 전력 소비를 줄이기 위해 설계되었습니다. 고급 흑연 에너지기는 또한 온도 균일 성을 향상시키는 데 도움이됩니다. 도쿄 전자 알파 805D (TOKYO ELECTRON Alpha 805D) 에는 광학 피로미터 및 광섬유 케이블 (광섬유 케이블) 과 같은 고급 광학 진단 도구가 제공되며, 이를 통해 사용자는 챔버 내부의 온도를 쉽고 효과적으로 모니터링할 수 있습니다. 이 모델에는 또한 펄스 아르곤 (pulse argon) 흐름 제어 및 웨이퍼 감지 (wafer detection) 가 있는데, 이는 연산자가 웨이퍼 처리 중 아르곤 가스의 흐름을 제어하는 데 도움이됩니다. 알파 805D (Alpha 805D) 용광로에는 문의 안전 잠금 장치 (Safety Lock on the Door), 온도가 일정 수준에 도달하면 불이 들어오는 표시 시스템, 온도가 세트 한도를 초과하면 발생하는 고온 경보 등 여러 가지 안전 기능이 장착되어 있습니다. 또한, 문이 열리면 용광로를 자동으로 폐쇄하는 비상 차단 밸브 (emergency shut-off valve) 가 포함되어 있습니다. TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 805D는 유지 보수 및 장기 사용을 용이하게 하기 위해 제작되었습니다. "흑연" 인테리어 '와 교체 할 수 있는 "파아트' 는 필요 할 때 손쉽게 유지 및 교체 할 수 있도록 설계 되었다. 전반적으로, TEL Alpha 805D는 안정적이고 효율적인 확산 로로, 정밀도 및 온도 조절과 여러 안전 측정을 제공합니다. 저압 (low pressure) 과 고압 처리 (high pressure processing) 모두에 적합하며, 광범위한 산업을위한 다용도 도구입니다. 또한, 영리한 디자인은 우수한 온도 균일성을 촉진하는 데 도움이되며, 결국 우수한 장치 성능을 제공합니다.