판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 805D #9355781

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 805D는 고성능 전자 장치를 위해 빠르고 안정적인 확산 처리를 제공하기 위해 설계된 확산 로와 액세서리입니다. 사용하기 쉬운 사용자 인터페이스, 고급 기능, 뛰어난 신뢰성을 제공합니다. 용광로 및 액세서리는 표준 3 인치 잉고 (ingot) 용량을 사용하며, 강력하고 효율이 높은 가스 확산 장비는 기판 전체에 균질한 가열을 제공하여 잠재적 인 핫스팟을 제거합니다. TEL Alpha 805D에는 PID 컨트롤러, 자동 온도 분배 제어 (Automatic Temperation Distribution Control) 및 전원 장애 잠금 (Power Failure Lock-out) 을 포함한 고급 강력한 온도 제어 시스템이 장착되어 있습니다 (전원이 자동으로 차단됨). 이는 반복 가능하고 신뢰할 수있는 결과로 정확하고 심지어 확산 과정을 보장합니다. 온도 범위가 넓고 현재 최대 온도는 1600 ° C (공정 속도 및 수율) 를 크게 향상시킵니다. 이 장치에는 기판의 온도에 따라 제어 설정 (control settings) 을 자동으로 조정할 수 있는 고급 자동 조정 (auto-tuning) 기능도 있습니다. TOKYO ELECTRON Alpha 805D의 액세서리에는 플레 넘 챔버, 다중 온도 센서, 가스 분배기 및 상단 방패가 포함됩니다. 이 약실 은 공정 "가스 '를 난기류 없이 신속 히 도입 할 수 있게 해 주며, 그것 은 고른 확산 과정 을 보장 해 준다. 온도 센서는 공정 제어기 (process control machine) 의 일부로 과거 데이터와 함께 정확한 전류 및 내부 오븐 온도 판독 (oven temperature readings) 을 제공합니다. "가스 '분배기 는 기판 전체 의 균질 한 가열 을 손상 시키지 않고, 최대 3 가지 공정" 가스' 를 도입 할 수 있게 한다. 최상위 실드 (shield) 는 프로세스 환경을 보다 효과적으로 제어하여 프로세스 반복성을 보장합니다. 알파 805D는 확산 프로세스를위한 신뢰할 수 있고 고급 도구입니다. 이 제품은 효율적이고 안전한 확산 프로세스를 제공하며, 사용자 친화적인 인터페이스와 자동 튜닝 기능을 통해 정확성과 반복 (repeatibility) 을 보장합니다. 최대 온도, 스마트 기능으로 고성능 전자 기기에 적합합니다.