판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 805D #293748149

ID: 293748149
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 1993
Furnace, 8" Process: PIQ Power box Gas box Heater Accessories 1993 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8은 태양 광 전지, 디스플레이 재료 및 기타 반도체 장치의 생산을 위해 만들어진 확산 용광로 및 액세서리 장비입니다. 다양한 기능을 갖춘 이 시스템은 다양한 요구 사항을 충족하는 완벽한 솔루션을 제공합니다 (영문). 이 단위는 다양한 고체 기질에서 원소 필름의 빠르고 균질 한 열 확산 및 열분해 (pyrolysis) 를 제공 할 수있다. TEL Alpha 8 기계는 광범위한 기능을 제공하여 사용자가 유연성과 정확성을 높일 수 있도록 합니다. 최대 800 ° C의 열을 최대 8 "웨이퍼로 제공하는 뜨거운 벽 가로 용광로가 특징입니다. TOKYO ELECTRON ALPHA-8에는 수직 리프트 하중 잠금 장치, 자동 하중 잠금 장치, 쿨 셔터 및 터보 분자 펌프를 포함한 다양한 액세서리가 있습니다. 공구의 열 균일성 (thermal uniformity) 도 예외적이며, 정점 0.2 ° C 이내의 일정한 온도를 제공합니다. 안전성 측면에서 알파 8 (Alpha 8) 은 다양한 안전 및 보안 기능을 갖추고 있습니다. 캐비닛 사이드 월 라이너, 수냉식 열 차폐, 자체 진단 컴퓨터 컨트롤 및 마이크로 온도 코플이 장착되어 있습니다. 또한 안전 프로토콜 및 제한 값, 가스 재활용 (gas recycling), 롤오버 설정 (rollover settings) 과 같은 다른 안전 기능도 제공합니다. TOKYO ELECTRON Alpha 8은 또한 프로세스 데이터와 경보 코드를 출력하여 문제 해결 및 유지 보수가 용이한 통신 인터페이스를 제공합니다. 알파-8 (ALPHA-8) 은 또한 에너지 효율적이며 비용 효율적입니다. 다중 영역 온도 제어 자산을 사용하여 처리 중 에너지 소비를 줄입니다. 이 모델은 또한 지속적인 조정이 필요없이 정확한 온도 조절, 정확한 배기 제어, 정확한 설정 지점 제어 (set point control) 를 제공합니다. 이를 통해 사용자는 시간을 절약하고, 유지 관리를 줄이고, 비용을 절감할 수 있습니다. 전반적으로 TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-8은 정확하고 효율적인 반도체 처리를 찾는 사람들에게 이상적인 솔루션입니다. 탁월한 안전 기능, 정확하고 정확한 온도 조절, 다중 액세서리, 에너지 효율성을 제공합니다. TEL ALPHA-8 (TEL ALPHA-8) 은 확산 용광로 및 액세서리 요구에 적합한 안정적이고 비용 효율적인 솔루션을 찾는 사람들에게 이상적인 솔루션입니다.
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