판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 805CN #9071568

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 805CN은 빠르고 정확하며 효율적인 웨이퍼 가열 및 처리를 위해 설계된 고급 확산 로와 액세서리입니다. 이 단일 챔버 장치는 2 단계 청소 프로세스를 활용하여 일관되게 깨끗한 웨이퍼를 생산하도록 설계되었습니다. 이 과정은 질소와 산소의 조합으로 시작하여 웨이퍼에서 미립자를 제거합니다. 그런 다음, 두 번째 단계는 질소의 압력 동등 화 플러시를 사용하여 잔여 입자를 제거합니다. 이 단일 챔버 확산 로는 TEL 업계 최고의 FPD 및 RTP 제품에 사용되는 동일한 에너지 효율적인 열 이미징 시스템으로 구동되며, 이온 임플란테이션 (Ion Implantation) 모듈이 추가되었습니다. 이 모듈을 사용하면 지정된 프로세스에 대해 웨이퍼 온도를 정확하게 조정할 수 있습니다. 이 용광로는 또한 효율적인 웨이퍼 가열을위한 독특한 이중 스택 수직 석영 튜브 (vertical quartz tube) 를 갖추고 있으며, 더 높은 가열 속도와 개선 된 웨이퍼 레벨링을 제공합니다. TEL Alpha 805CN 확산 로에는 고도로 민감하고 자동 압력 및 온도 조절 시스템이 포함되어 있어 고르게 조리 된 웨이퍼를 보장합니다. 이렇게 하면 용광로 에 처리 된 모든 "웨이퍼 '가 온도 설정점 (temperature set point) 범위 내 에 있게 된다. 또한 좋은 열 단열을위한 절연 진공 재킷이 포함되어 있습니다. 이 단열은 발열이 빨라지고 에너지 효율이 향상됩니다. TOKYO ELECTRON Alpha 805CN 확산 로는 직관적인 터치 스크린 디스플레이를 갖춘 사용자 친화적이며 사용하기 쉽습니다. 업계 표준 크기에 완벽하게 맞도록 설계되었으며 TOKYO ELECTRON 기존 제품군과 호환됩니다. 또한, 하이엔드 에너지 효율성을 통해 전력, 유지 보수 비용 측면에서 더 많은 비용을 절감할 수 있습니다. Alpha 805CN은 고급 확산 로와 액세서리입니다. 효율적이고, 사용하기 쉽고, 에너지 효율적이며, 비용 효율적이도록 설계되었습니다. 안정적이고 비용 효율적인 확산 로가 필요한 모든 공급자 (supplier) 또는 제작자 (fabricator) 에게 적합합니다.