판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 805CN #293651966

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 805CN은 효율을 극대화하기 위해 설계된 확산 로입니다. 이 견고하고 신뢰할 수있는 퍼니스는 균일 한 온도 조절, 빠른 가열, 그리고 중요한 매개변수에 대한 정확한 제어 기능을 제공합니다. TEL Alpha 805CN은 epitaxial 성장, silicidation, poly-silicon 증착 및 임플란트와 같은 다양한 확산 응용 분야에 적합합니다. 이 기능에는 효율적인 불규칙한 모양의 석영 튜브, 고온 디자인, MIL (Multi-Ion-Liner) 웨이퍼 홀더 및 E 형 온도 센서가 포함됩니다. TOKYO ELECTRON Alpha 805CN은 단 4 분 만에 1600 ° C에 도달 할 수 있으며 전체 웨이퍼 표면에서 균일 한 온도 조절이 가능합니다. Alpha 805CN은 또한 SAGF (Substrate Assist Gas Flow) 프로세스를 지원하여 온도 조절 및 폴리 실리콘의 증착에 대한 추가 균일성을 지원합니다. 다중 영역 MEL (Multi-zone External Lift) 은 반복 가능하고 제어 가능한 성장 프로세스뿐만 아니라 균일 한 온도 프로파일을 향상시킵니다. TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 805CN의 정밀 온도 제어는 온도 컨트롤러를 사용하여 달성됩니다. 온도 센서 및 열 센서 기술. TEL Alpha 805CN에서 제공하는 E 형 온도 센서는 실온보다 낮은 1600 ° C의 온도를 측정 할 수 있습니다. 이 퍼니스는 또한 L (Length) 유형 온도 컨트롤러 (정확한 온도 조절 및 균일성을 보장하는 유연하고 경제적이며 효율적인 장치) 를 사용할 수 있는 옵션을 제공합니다. 다중 구역 접근을 위해 TOKYO ELECTRON Alpha 805CN은 쉽게 연결되고 외부에서 제어 할 수있는 4 구역 세분화를 제공합니다. 이 퍼니스는 또한 확산을 위해 자신의 레시피를 구성하고 설계하는 다양한 옵션을 제공합니다. 또한 Alpha 805CN은 화학 기계 리프터 (CML), LIN (Low Internal Pressure) 시스템 및 여러 가스 흐름 제어 옵션을 제공합니다. TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 805CN은 과부하 보호 스위치, 전기 리클로저, 자동 저압 검출기, 자동 고온 검출기, 비상 열전대 및 쿼츠 튜브 공기 냉각과 같은 안전 기능도 제공합니다. 이 기능은 용광로의 안전한 작동을 보장하며, 확산 과정과 관련된 잠재적 위험을 줄입니다. 전반적으로 TEL Alpha 805CN은 금속 화, epitaxy 및 기타 확산 프로세스에 대한 효율적인 솔루션입니다. 다양한 애플리케이션에서 빠르고, 효율적이며, 정확한 작업을 수행할 수 있도록 필요한 구성 요소가 잘 갖추어져 있습니다.