판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 805CN #293622212

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 805CN은 반도체 재료 제조에 이상적인 CVD/PECVD 다목적 확산 로입니다. 이 최첨단 확산 로는 900 ° C의 고온을 특징으로하며, 다양한 크기의 여러 웨이퍼를 수용하기에 적합한 대형 가공 챔버 (processing chamber) 가 있습니다. 또한 정밀 온도 조절을 가능하게하는 정밀 DC 가열 기능이 있습니다. 확산 로에는 과열 감지, 누출 탐지와 같은 뛰어난 안전 기능이 있습니다. 또한 낮은 열 소음과 깨끗한 배기 시스템 (clean exhaust system) 을 갖추고 있어 안전하고 깨끗한 작업 환경을 보장합니다. 또한 자동차 가스 유량 미터 (auto gas flow meter), 매우 얇은 고온 히터, 누수 조임을위한 개선 된 진공 열 챔버 (vacuum thermal chamber) 뚜껑을 포함한 광범위한 액세서리가 포함되어 있습니다. 확산 용광로는 운영에 큰 유연성을 제공합니다. 자동 제어 시스템 (Auto Control System) 을 추가하여 효율적이고 자동화된 작업을 수행할 수 있으므로 수동 작업이 필요 없습니다. 또한, 고급 자동차 운송 시스템 (auto transport system) 의 통합을 통해 웨이퍼 처리가 더 쉬워집니다. TEL 알파 805CN (TEL Alpha 805CN) 은 또한 개선 된 프로세스 제어 (Process Control) 의 이점을 얻는데, 대상 챔버의 온도를 측정하는 센서와 모니터의 실시간 디스플레이를 통해 프로세스 정확도와 신뢰성이 향상됩니다. 또한 고급 디지털 등록, 원격 모니터링, 지능형 데이터 로깅 (Intellgent Data Logging) 기능을 통해 언제든지 중요한 정보에 액세스할 수 있습니다. 전반적으로 TOKYO ELECTRON Alpha 805CN은 반도체 제조를 위한 효율적이고, 안정적이며, 안전한 CVD/PECVD 확산 로로, 깨끗하고 안전한 환경을 위해 뛰어난 유연성과 향상된 프로세스 제어를 제공합니다. 사용자 친화적 인 디자인으로 인해 많은 산업 및 연구 실험실 응용 프로그램에 사용할 수 있습니다.