판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 805CN #293622211

ID: 293622211
빈티지: 1994
Diffusion furnace 1994 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 805CN은 반도체 생산을 위해 특별히 설계된 확산 로와 액세서리입니다. TEL Alpha 805CN은 현대 반도체 생산의 요구를 충족시키기 위해 높은 생산성과 향상된 장비 효율성을 제공합니다. 즉, 신속한 처리량을 지원하므로, 운영자가 비용을 절감하면서 더 많은 제품을 생산할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON Alpha 805CN에는 온도 조절, 처리, 압력 및 모니터링 시스템 등 다양한 구성 요소 및 기능이 포함되어 있습니다. 온도 조절 시스템 (Temperature Control System) 은 전체 프로세스 동안 정확하고 균일한 온도를 보장하는 반면, 처리 및 모니터링 시스템은 정확하고 일관된 웨이퍼 제작을 지원합니다. Alpha 805CN은 반복 가능한 열 주기에 균일 하고 반복 가능한 프로세스 성능을 제공합니다. 직접 가열 요소를 사용하면 빠르고 정확한 처리가 가능합니다. 용광로에는 진동 공기 프리 히터 (pre-heater) 가 장착되어 웨이퍼 표면에 열을 균등하게 분산시키고 비 균일성을 줄입니다. TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 805CN은 또한 400 ~ 1400C의 넓은 온도 범위를 가진 큰 균일 한 온도 동질성을 특징으로합니다. 이를 통해 빠르고 정확하며 반복 가능한 열 처리 균일성이 가능합니다. 용광로에는 정확도가 높은 쿼츠 열전대 측정 장치가 장착되어 있어, 정확하고 일관된 온도 모니터링이 가능합니다. TEL 알파 805CN (TEL Alpha 805CN) 에는 용광로 온도를 모니터링하고 제어하는 특수 소프트웨어, 기타 입력 및 출력을 포함하는 통합 시스템도 포함되어 있습니다. 이러한 시스템은 꾸준하고 균일 한 온도를 유지하고 웨이퍼 생산 주기를 최적화 할 수 있습니다. 이 소프트웨어는 또한 체계적인 제어 및 데이터 수집 시스템 (Data Collection System) 을 제공하여 효율적이고 정확한 운영을 보장합니다. TOKYO ELECTRON Alpha 805CN은 반도체 생산의 요구를 충족시키기 위해 설계된 확산 로와 액세서리입니다. 정확한 온도 조절, 균일한 온도 균질성, 높은 생산성, 정확한 온도 조절 기능을 제공합니다. 여기에는 프로세스 모니터링 및 제어를 위한 통합 소프트웨어, 정밀 온도 모니터링 및 제어를 위한 특수 시스템 (specialized systems) 이 포함됩니다. 이러한 기능은 정확하고 일관된 웨이퍼 제작을 보장하므로 비균일성을 줄일 수 있습니다.
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