판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 805CN #293622165

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 805CN은 실리콘 제조 및 관련 프로세스에 사용하도록 설계된 고급 확산 로와 액세서리입니다. 805CN은 극도로 정밀한 온도 조절, 배출 감소, 균일성 향상을 제공하는 초저온 확산 로입니다. 805CN (Modular Equipment) 은 8 개의 개별 용광로 스택을 갖춘 모듈식 장비로, 각각 독립적으로 모니터링하고 운영 할 수 있습니다. TEL Alpha 805CN의 최대 온도는 1350 ° C이며 가열 전력은 최대 18kW입니다. 확산 챔버에는 내장 가스 공급 장치 (gas supply) 와 배기 시스템 (exhaust system) 이 장착되어 있어 플루오린, 산소와 같은 가스와 실리콘과 같은 다른 특수 가스의 정확하고 효율적인 확산이 가능합니다. 또한 원격 모니터링을위한 고급 디지털 통신 인터페이스가 장착되어 있습니다. 805CN 은 혁신적인 소프트웨어 패키지와 강력한 제어 장치 (control unit) 를 통해 정교한 프로세스 제어를 지원합니다. 여기에는 온도 최적화, 데이터 로깅, 자동 제어 및 경보 관리가 포함됩니다. 강력한 제어 머신 (power control machine) 은 정밀하고 정확한 사전 설정 온도 설정을 가능하게 하며, 확산 챔버 전체에 균일 한 온도 분배를 보장하도록 설계되었습니다. TOKYO ELECTRON Alpha 805CN에는 다양한 액세서리가 제공됩니다. 캐리어 모듈 (carrier module) 은 챔버 전체에 균일 한 분위기를 보장하여 확산 과정의 균일성을 향상시키기 위해 설계되었습니다. 정확한 온도 판독 및 제어를 위해 다양한 열전대, 센서 및 커넥터도 제공됩니다. 확산 챔버에는 대류 감소 커버 (convection-reducing cover) 와 열 복사 쉴드 (heat radiation shield) 가 있으며 열 에너지 손실을 줄이고 공구 효율성을 향상시키고 입자 오염을 최소화합니다. 805CN 퍼니스는 또한 쿼츠 보트 (quartz boat) 와 벨 냉각 제트기 (bell cooling jet) 와 같은 추가 액세서리와 함께 사용되어 균일 한 냉각 분위기를 보장할 수 있습니다. Alpha 805CN은 광범위한 확산 프로세스에 적합한 다재다능한 자산입니다. 처리 온도가 매우 낮고 온도 최적화가 매우 정확한 어플리케이션에 특히 적합합니다. 고급 디지털 통신 인터페이스와 다양한 액세서리를 갖춘 805CN (805CN) 은 실리콘 제작 및 관련 프로세스를 위한 탁월한 선택입니다.