판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 805C #293775688
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텔/도쿄 전자 알파 805C (TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 805C) 는 정교한 확산 로이자 반도체 물질을 처리 할 수있는 액세서리입니다. 그것은 다양한 질화물 및 폴리 실리콘 프로세스에 대한 최첨단 333M 대용량, 초고속, 고도로 반응성 컨트롤러로 구동됩니다. 이 장비는 P 형 및 N 형 확산을 위해 설계되었으며 여러 자동 프로세스를 포함합니다. TEL 알파 805C (Alpha 805C) 는 신뢰성이 높으며, 뛰어난 균일성과 제품 품질을 제공하며, 이는 반도체 생산 중 품질 보장에 매우 중요합니다. 빠른 열 처리, 현장 산화 및 P 형 도핑과 같은 기능을 갖춘 매우 맞춤형 솔루션입니다. 최대 1300 ° C의 넓은 온도 범위와 처리량을 극대화하기 위해 여러 램프 속도 (rate rate) 를 제공합니다. TOKYO ELECTRON Alpha 805C는 또한 챔버 압력 및 열 전달 계수에 대한 제어를 포함하여 광범위한 프로세스 제어 기능을 제공합니다. 가스 관리 시스템 (gas management system) 은 균일 한 울림 펌프와 냉각수 펌프로 구성되어 매우 정확하고 반복 가능한 공정을 위해 균일 한 환경을 제공합니다. 또한 고급 온도 프로그램 (advanced temperature program) 이 포함되어 있어 응용 프로그램에 가장 적합한 프로파일을 선택할 수 있습니다. Alpha 805C는 작업 효율성을 높이기 위해 다양한 액세서리를 갖추고 있습니다. 여기에는 웨이퍼 (방열판) 리프트, 로더/언로더 및 온도 프로그래머와 같은 조작기가 포함됩니다. 또한 유지보수를위한 고급 챔버 클리닝 장치 (chamber cleaning unit) 와 안전 개선을위한 가스 관리 머신 (gas management machine) 도 포함되어 있습니다. 또한 TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 805C 액세서리에는 프로세스 통합을위한 온보드 컨트롤러가 포함되어 있습니다. TEL Alpha 805C는 설치와 관리가 용이하며 운영 환경에 적합합니다. 기술 지원은 공정 개발 및 열 제어 기술 (thermal control technology) 에 집중된 전문 기술자가 제공합니다. TOKYO ELECTRON Alpha 805C는 고품질 반도체 부품을 생산하기 위한 경제적이고 효율적인 옵션을 제공합니다.
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