판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 805C #293756811

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 805C는 기판의 제어 난방 및 에칭을위한 다양한 액세서리가있는 확산 로입니다. 주 챔버 (Main Chamber) 는 가압되어 2 개의 개별 가열 구역으로 분리되어 프로세스 조건에 대한 최대 정확도와 제어를 수행합니다. 주 챔버 (Main Chamber) 에는 2 개의 독립적으로 제어 가능한 가열 요소가 장착되어 있으며, 주 챔버 (Main Chamber) 와 보조 챔버 (Auxiliary Chamber) 에서 각각 2 개의 다른 공정 온도가 유지 될 수 있습니다. 메인 챔버에는 수동으로 조절 가능한 2 개의 선반과 조정 가능한 가스 분사 포트가 있습니다. 보조 챔버에는 수동으로 조절 가능한 압력 센서와 가스 배기 파이프가 있습니다. TEL Alpha 805C 확산 로는 AC 200V/220V 또는 50/60Hz의 단상 전원 공급 장치로 구동되며, 여러 안전 기능이 장착되어 있습니다. 과열 경고 LED 표시등 (over-temperature warning LED indicator) 및 버저 (buzzer) 가 비정상적인 상황의 경우 운영자에게 경고합니다. TOKYO ELECTRON Alpha 805C에는 프로세스 조건을 쉽게 추적할 수 있는 직관적인 LCD 그래픽 패널 디스플레이가 있습니다. 또한 이 디스플레이는 프로세스 레시피 데이터 스토리지 (recipe data storage) 를 특징으로 하며 주요 프로세스 매개변수를 쉽게 모니터링할 수 있습니다. 또한 전체 프로세스 동안 정밀 온도 설정 포인트 (set-point) 및 온도 유지 관리를 제공하여 정확하고 일관된 확산 처리를 가능하게합니다. 알파 805C 확산 로에는 박막 에칭 및 증착을위한 여러 액세서리가 있습니다. 여기에는 기판을 포함하는 바구니 에칭, 에칭 속도 제어를위한 쿼츠 라이너 (quartz liner) 및 기판 사이의 거리를 조정하기위한 매핑 로드 (hanging rod) 가 포함됩니다. 또한 에칭 및 증착 공정을 위해 다양한 가스 입구 피팅이 제공됩니다. TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 805C에는 에칭 프로세스 모니터링 및 제어를위한 다양한 액세서리가 장착되어 있습니다. 액세서리 선택에는 산소 및 아르곤 가스 흐름 미터 (argon gas flow meter) 및 제어 밸브, 열전대 및 자동 PID 컨트롤러가 포함됩니다. TEL Alpha 805C 확산 로는 반복 가능한 고정밀 열 처리 및 에칭 프로세스가 가능합니다. 대용량, 반복 가능한 에칭 (etching) 프로세스에 사용하도록 설계되었으며, 고진공 프로세스 환경에서 작동하기에 적합합니다. 이 확산 로 는 신빙성 있고 정확 한 결과 를 가져다 주며, 여러 가지 산업, 실험실, 교육 환경 에서 사용 될 수 있다.